【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光栅检测领域，具体涉及一种绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置。
技术介绍
绝对式光栅尺总装完成之后，在加工中各个生产环节和组装环节所积累的误差会对光栅尺测量精度造成影响，需要对光栅尺总体精度进行检测。现有的光栅尺总体精度检测方法多采用接触式测量结构，将接触式探头安装在工作平台的移动滑台上，与光栅尺的读数头同步移动，对光栅尺的精度进行检验，由于存在摩擦力、应力形变和表面瑕疵，检测结果会存在误差。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，该装置通过非接触式的测量方式，来减少在检测过程中产生的误差。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案如下绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，该装置包括工作台、平行光管、丝杠、第一反射镜、第二反射镜、滑台、光栅尺和激光干涉仪；所述平行光管固定在工作台的一侧；光栅尺中的标准尺放置在工作台上，与工作台上的导轨平行，光栅尺读数头放置在滑台内；丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第...
【技术保护点】
绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，其特征在于，该装置包括：工作台、平行光管、丝杠、第一反射镜、第二反射镜、滑台、光栅尺和激光干涉仪；所述平行光管固定在工作台的一侧；光栅尺中的标准尺放置在工作台上，与工作台上的导轨平行，光栅尺读数头放置在滑台内；丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第一反射镜和第二反射镜固定在滑台上，激光干涉仪固定在工作台的另一侧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王潇洵，谭向全，黄剑波，马俊林，孙强，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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