用于去除杂质的基于衬里的组件制造技术

本发明专利技术涉及一种用于存储材料的衬里，该衬里包括至少两层，其中，与材料接触的层是活性层。通过将清除剂结合到工作层中而使该层有活性。衬里的至少一层包括聚合物或含氟聚合物。在一些实施例中，活性层可以被构造为用于去除光致抗蚀剂中的微桥接组分。在一些实施例中，通过以惰性材料诸如玻璃覆盖活性层的内部而使该层有活性。在进一步的实施例中，衬里位于不锈钢罐内。本发明专利技术还涉及一种基于衬里的组件，该基于衬里的组件包括：衬里，该衬里用于存储材料；外包装，衬里置位于该外包装内；以及，净化包，该净化包位于衬里和外包装之间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及基于衬里的组件。本专利技术尤其涉及维持或提高存储在衬里中的内容物的纯度的基于衬里的组件。
技术介绍
许多制造过程需要使用超纯液体，诸如酸、溶剂、碱、光致抗蚀剂、掺杂剂、无机的、有机的和生物的溶液、药物以及放射性化学品。这种应用需要超纯液体中的粒子的数目和尺寸被最小化。特别地，由于超纯液体使用在微电子制造过程的多个方面中，所以半导体制造商已经设立了严格的用于工艺化学品和化学操作设备的粒子浓度规格。需要这种规格，这是因为制造过程期间使用的液体应该包含高水平的粒子或泡沫，该粒子或泡沫可能沉积在硅的固体表面上。这能够反过来使产品失效并降低了质量和可靠性。因此，这种超纯液体的存储、运送和分配需要能够为保持的液体提供足够保护的容器。通常用于工业中的两个类型的容器是由玻璃或塑料制成的简单的刚性壁容器和可折叠的基于衬里的容器。通常使用刚性壁容器，这是因为它们的物理强度、厚的壁、廉价的成本以及易于制造。然而，这种容器在压力分配液体时能够引入气液界面。这能够使气体溶解到容器中保持的的液体诸如光致抗蚀剂中，并且能够在分配系中的液体中造成产生不期望的颗粒和气泡。此外，一次性使用塑料袋/衬里可以例如在生物制药工业中用于存储、输送、混合、反应等。包括衬里的材料能够以多种方式对衬里的内容物进行负面影响，例如:可滤取的和可提取的化学品可能从袋移动到内容物，从而造成受污染的材料；袋可以溶解到内容物中而使结构弱化；可能发生在袋的内容物和渗透入袋的气体(如氧气、水分、臭氧等)之间的化学反应；表面粘附可以限制输送的材料的量和/或引起内容物(如生物淤积)中的不希望的反应等。 因此，存在对于更好的衬里系统的需求，该衬里系统不仅可以维持衬里的内容物的纯度，还可以提高衬里的内容物的纯度。
技术实现思路
本专利技术的一个实施例涉及一种用于存储材料的衬里，该衬里包括至少两层，其中，与材料接触的层是活性层。可以通过将清除剂结合到如下的层中而使活性层有活性。衬里的至少一层可以包括聚合物或含氟聚合物。在一些实施例中，活性层可以被构造成用于去除光致抗蚀剂中的微桥接组分。在一些实施例中，可以通过以惰性材料诸如玻璃覆盖在如下的层的内部而使活性层有活性。在进一步的实施例中，衬里可以位于不锈钢罐内。本专利技术的另一个实施例涉及一种用于存储材料的衬里，该衬里包括至少两层，其中，不与材料接触的层是活性层。可以通过将清除剂结合至如下的层中而使活性层有活性。衬里的至少一层可以包括聚合物或含氟聚合物。本专利技术的又一实施例涉及一种基于衬里的组件，该基于衬里的组件包括用于存储材料的衬里、定位有衬里的外包装和位于衬里和外包装之间的净化包。净化包可以包括清除剂。衬里可以包括至少两层，其中，该层中的至少一层是活性层。本专利技术的另一个实施例涉及一种基于衬里的组件，该基于衬里的组件包括用于存储危险气体的容器、定位有容器的衬里和位于容器和衬里之间的吸气剂。吸气剂可以包括可透气的包装，该可透气的包装含有能够吸引存储在容器中的气体或与该气体反应的材料。吸气剂可以还使一部分构造成在材料与来自容器的气体反应时改变颜色，从而表示气体已经从容器中泄漏。在一些实施例中，基于衬里的组件可以进一步包括外容器，衬里和钢筒位于该外容器内。吸气剂位于外容器与衬里之间。虽然公开了多个实施例，但是对于本领域中的一般技术人员，根据示出和描述本专利技术的说明性实施例的下列详细描述，本专利技术的其它实施例会变得显而易见。会认识到的是，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，本专利技术的多个实施例能够在多个明显方面中变型。因此，附图和详细描述将被认为在本质上是说明性的而不是限制性的。附图说明说明书通过权利要求总结了并特别指出了和清楚地要求了被视为形成本专利技术的各个实施例的本主题，应认识到，根据结合附图的下列说明，会更好地理解本专利技术，在附图中:图1示出了根据本专利技术的实施例使用的类型的衬里。图2A示出了根据本专利技术的一个实施例的衬里的层的放大的局部视图。图2B示出了根据本专利技术的一个实施例的衬里。图2C示出了根据本专利技术的另一个实施例的衬里。图3A示出了根据本专利技术的一个实施例的基于衬里的系统。图3B示出了根据本专利技术的另一个实施例的基于衬里的系统。图4示出了根据本专利技术的一个实施例的基于衬里的组件。图5示出了根据本专利技术的另一个实施例的基于衬里的组件。图6示出了根据本专利技术的另一个实施例的基于衬里的组件的横截面图。具体实施例方式本专利技术涉及新颖和有利的基于衬里的组件。本专利技术尤其涉及可以维持和/或提高存储在衬里中的内容物的纯度的基于衬里的组件。在一些实施例中，柔性衬里可以在使用后被重复利用和/或被处理，从而在使用后无需清洁衬里。本专利技术的实施例可以在各个不同的工业中与各种液体一起使用。本专利技术的衬里可以例如包括但不限于:通常是超纯液体的液体，诸如酸、溶剂、碱、光致抗蚀剂、掺杂剂、无机的、有机的和生物的溶液、药物以及放射性化学品，该液体可以是非常昂贵的，例如约$2，500/L或更高；在维持产品的纯度是重要的其它产品中，例如食品，诸如调味品；或可以合适地存储在基于衬里的系统中的任何其它材料。图1示出了衬里100，该衬里100可以使用在基于衬里的系统中，以保持所需的材料。衬里可以具有 配件10，该配件10用于填充和分配材料，并且取决于依据衬里的形状，衬里100可以还具有一个或多个衬里壁20。衬里可以具有任何期望的形状，诸如大致立方形、圆柱形、八角形、枕形状或任何其它几何体。在一些实施例中，可以使用包括塑料、尼龙、EVOH(乙烯醇共聚物)、聚烯烃或其它天然或合成聚合物中的一种或多种聚合物来制造衬里100。在进一步的实施例中，可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚(2，6-萘二甲酸丁二醇酯)(PBN)、聚乙烯(PE)、线性低密度聚乙烯(LLDPE)、低密度聚乙烯(LDPE)、中密度聚乙烯(MDPE)、高密度聚乙烯(HDPE)和/或聚丙烯(PP)来制造衬里100。例如，使用PEN制造的衬里可以具有低渗透性，并因此允许较少的来自衬里100的外部的气体渗入衬里壁20并污染储存在衬里100内的材料。使用PE、LLDPE、LDPE、MDPE, HDPE和/或PP制造的衬里还可以适于较大的存储和分配系统，诸如约2000升或更少的材料的存储。在其它替代的实施例中，可以使用含氟聚合物诸如但不限于聚三氟氯乙烯(PCTFE)、聚四氟乙烯(PTFE)、氟化乙烯丙烯(FEP)和过氟烷氧基(PFA)来制造衬里100。在一些实施例中，衬里100可以包括多层。例如在某些实施例中，衬里100可以包括内表面层、芯层和外层，或任何其它合适数目的层。该多个层可以包括一种或多种不同的聚合物或其它合适的材料。例如，内表面层可以使用含氟聚合物(例如，PCTFE, PTFE, FEP、PFA等)来制造，芯层可以是阻气层，该阻气层使用诸如尼龙、EV0H、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、PCTFE等材料来制造。外层也可以使用任何各种合适的材料来制造，并可以取决于为内表面层和芯层所选择的材料。认识到，此处描述的衬里的各种实施例可以根据本文公开的任何合适的材料的组合来制造。衬里100可以通过任何合适的方式制造，该方式包括但不限于焊接，或模制，包括吹塑模制、挤出吹塑模制或任何其它方法或者用于形成衬里1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：格伦·汤姆，劳伦斯·H·杜波依斯，
申请(专利权)人：高级技术材料公司，
类型：
国别省市：