一种线切割机制造技术

本实用新型专利技术提出了一种线切割机，包括壳体、多个主轴、控制单元，所述的主轴设置于壳体中，控制单元连接所述的主轴，安装于壳体内的支架，所述的多个主轴安装于支架上，呈三角形分布。本实用新型专利技术的线切割机多个主轴安装于支架上，呈三角形分布，主轴安装位置较为稳定，不易产生移位。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种线切割机。
技术介绍
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。现有技术中，线切割机的主轴安装位置不合理，常因钢线张力、高负荷运行而引起的轴移位，生产良率不高。
技术实现思路
本技术提出一种线切割机，解决了现有技术中主轴安装位置不合理，常因钢线张力、高负荷运行而引起的轴移位，生产良率不高的问题。本技术的技术方案是这样实现的:本技术公开了一种线切割机，包括壳体、多个主轴、控制单元，所述的主轴设置于壳体中，控制单元连接所述的主轴，安装于壳体内的支架，所述的多个主轴安装于支架上，呈二角形分布。进一步地，所述的 线切割机包括油冷机，所述的油冷机为所述的主轴提供冷却油。进一步地，所述的线切割机包括空气密封管，用于给所述的多个主轴提供气流。进一步地，所述的控制单元包括抱闸伺服电机。进一步地，所述的控制单元包括触摸屏。实施本技术的一种线切割机，具有以下有益的技术效果:多个主轴安装于支架上，呈三角形分布，主轴安装位置较为稳定，不易产生移位。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术一种线切割机构造示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术的实施例，一种线切割机，包括壳体10、多个主轴20、控制单元30，主轴20设置于壳体10中，控制单元30连接主轴20，安装于壳体10内的支架40，多个主轴20安装于支架40上，呈三角形分布。线切割机包括油冷机，所述的油冷机为所述的主轴提供冷却油。线切割机包括空气密封管，用于给所述的多个主轴提供气流。控制单元包括抱闸伺服电机。控制单元包括触摸屏。本机器具有高产量，高稳定性的高科技“硅晶体加工设备”。是借助连续快速移动的钢丝线，在上面喷洒大量特定配制的研磨浆液，对工件进行高效的多线切割加工。加工对象为硬的、脆性的材料。如压电水晶、石英玻璃、单晶硅、多晶硅、磁性材料、陶瓷、宝石等特硬、特脆的材料切割分解成片状，切割精度高，节省原材料、提高工作效率，减少了下道研磨工序的工作量。本机器的主要功能部件包括切割系统、线管理系统、温控系统、供浆系统、工作台升降系统、张力控制系统、供气系统、电控系统、操作系统及机器防护系统。1:切割系统:由伺服电机传动轴、收线轮轴、放线轮轴、罗拉、转角轮、组合轮、钢丝线、砂浆泵、砂浆喷头、料板、垂直进给滑台、气密封系统、油水冷却泵、断线报警器装置构成。2:线管理系统: 由收放线机构、排线机构、张力控制机构组成。3:温控系统:本机装有冷却水机和冷却油机，水循环泵、油循环泵、水和油冷却机分体组装，水油系统由温度传感器、电磁阀、压力表、减压阀、测量计、流量调节阀及管路构成。4:供浆系统:由砂浆箱、热交换器、流量计、砂浆泵、砂浆喷管及喷头、回浆过滤网组成。本机器在切割过程中可对砂浆温度和流量进行精确的自动控制，温度控制精度可达±0.5。C。5:工作台升降系统:由步进电机及驱动器、滚珠丝杠、直线导轨、减速器、垂直升降滑台组成。6:电控系统:本机器控制系统采用西门子工控机和基于PC的控制器，通过开放式的Profibus总线通讯控制西门子的伺服运动控制系统，对钢丝线的运动和张力控制，对砂浆的流量、温度进行控制，根据砂浆的温度，进行冷却水控制，并具有温度上下限制的报警，及超过设定值自动停机功能。机器在运行时，油冷却机自动控制的，是循环降主轴温度，主轴超过温度设定值自动停机功能，对切割料的压力进行控制，采用西门子的触摸屏、对机器的启动、数据设置、实现简易操作，对机器的各种运动数据进行适时监控、记录和数据储存，对各种故障进行显示和记录，本机器设有门电连锁装置和急停保护装置，保护操作人员和机器安全，全程实现自动化、人性化。本机器控制系统灵活，各项工艺参数可以由用户根据需要灵活设置及调整，方便用户调整工艺，以最佳效率和最低成本进行生产。本机器电器元件采用欧姆龙、施耐德等世界知名品牌产品，长期稳定可靠性高。7:操作系统机器的启动条件包括:急停按钮处于复位状态、收放线张力设定、温控油和水温度在设定值范围内、温控油和水达到循环、罗拉直径的设定数据、切割厚度的设置、收放线数据设置、安全开关处于复位状态，防护门关闭，放线轮储线量大于本次切割量，清除报警，当操作人员对所有条件一一确认后，才可以启动机器，才能完全避免操作失误。机器在运行过程中，触摸屏画面可以监控机器运行的各项主要参数，包括切割位置、切割量、乘于量、切割时间、乘于切割时间、进给量、进给速度、收放线速度、收放线时间、张力显示值、主电机转速和砂浆温度、主轴油温度。8:张力控制系统:张力控制系统由张力臂、线轮、张力传感器、张力放大器、旋转编码器、两组组合轮组成。钢丝线在切割过程中，张力臂一直控制在设定张力、以保证钢丝线张力恒定，由于负载变化和正反向切割，钢丝线张力会发生变化，张力臂会上下拉伸，同时与张力臂同轴连接的旋转编码器检测张力臂摆动的角度，将角度信号传送到伺服电机控制器内，伺服电机控制器通过调整收放线轮转速，使张力臂保持原定位置。设定放线轮放线和收线轮放线钢丝线张力大小、收放线速度、罗拉直径、张力画面显示收放线张力传感器的张力数据。9:进给触摸屏画面显示晶棒在工作台实际位置，设定晶棒在工作台切割位置，操作工作台上升、下降、限位等，当机器断电重新上电后，不需要重新设置，可直接工作，进给速度可以在切割过程中分段设定，切割到设定厚度、自动停止上升，并同时报警，解除报警后方可下次运作。10:切割工艺管理: 切割工艺设定主要工作参数包括:线速度、进收线量、回线比例、切割晶棒进给速度、钢线张力、砂泵湿度、主轴油温度、主轴油流量、主机转速。11:温度控制:在切割过程中砂泵温度控制在一个稳定的温度值上，通常在22度左右，切割过程中升温和降温的砂泵需通过高效的热交换器换热，以保持切割工艺的稳定性。12:料板的安装:本机的料板上下、简便、标准、1-2分钟可装卸完，节省时间，不需要任何技术。13:供气系统:对切割区域和线管理区域旋转部件进行气密封保护，以防止砂泵等污物的入侵造成的机器主轴、轴承和零部件的损害。本机器采用日本SMC气动元件和管路，油水分离器保证器路干燥、主轴轴承和主轴不生锈。14:放线和收线:本机器采用硬铅合金加工收放线轮，收放线轮均采用锥面连接，采用碟形弹簧，以一定力矩紧固，收放线轴承套采用QT4510精密加工，刚性强、精度高、振动小和收放线伺服电机同轴。15:排线机构:收线和排线机构均由伺服电机驱动，在收线轮运动过程当本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线切割机，包括壳体、多个主轴、控制单元，所述的主轴设置于壳体中，控制单元连接所述的主轴，安装于壳体内的支架，其特征在于，所述的多个主轴安装于支架上，呈三角形分布。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈抗，周学巧，
申请(专利权)人：东海县抗歆电子厂，
类型：实用新型
国别省市：