具有实时清洗功能的两导轮多线切割机制造技术

本实用新型专利技术公开了具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管以及若干第一喷吹管，砂浆喷管和第一喷吹管上设有若干喷孔，输入机构位于切割机构的上方，输入机构包括依次固定连接的工作台、工件架以及工件板，切割机构包括两个导轮和若干钢线，两个导轮的中心轴线相互平行，导轮上设有若干相互平行的线槽，钢线通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮上，砂浆喷管和第一喷吹管位于导轮的上方。本实用新型专利技术采用上述结构，能保证钢线的带砂能力，防止引起钢线的跳线甚至断线，避免影响硅片切割质量及成品率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工领域，具体是一种具有实时清洗功能的两导轮多线切割机。
技术介绍
多线切割技术是目前比较先进的硅片加工技术，被世界范围内绝大多数硅片生产厂家所采用。其原理是将一根极细的钢线相互平行的缠绕在两个或多个导线轮上形成一个水平的切割线网(钢线间的距离由导线轮槽距决定)，切割时导线轮带动线网做高速运动，喷砂嘴持续不断地向线网喷射含有磨料的研磨浆液(通常为PEG及SiC的混合液)，同时工件台以工艺要求的速度以垂直于线网的方向朝着线网运动，线网将磨料带入待加工工件区域对工件进行磨销，将硅块等硬脆材料切割成数以千计的薄片。在整个切割过程中，线网的带砂能力及平整度对硅片的质量及成品率起着重要的作用。在实际切割过程中，随着切割的进行，会产生导向条残渣，碎硅屑，金属颗粒等杂质，这些杂质如果附着在钢线上将影响钢线的带砂能力，钢线进入硅块后，由于带砂不足及杂质的影响容易使硅片产生线痕等不良品，同时若杂质混同砂浆团聚在硅片表面也不利于硅片表面的清洁；若杂质附着在导线轮上，极易引起钢线的跳线，严重的甚至断线，影响硅片切割质量及成品率。
技术实现思路
本技术提供了具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，解决了本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有实时清洗功能的两导轮多线切割机，其特征在于：包括输入机构、切割机构、若干砂浆喷管（5）以及若干第一喷吹管（8），所述砂浆喷管（5）和第一喷吹管（8）上设有若干喷孔，所述输入机构位于切割机构的上方，所述输入机构包括依次固定连接的工作台（1）、工件架（2）以及工件板（3），所述切割机构包括两个导轮（9）和若干钢线（11），两个导轮（9）的中心轴线相互平行，导轮（9）上设有若干相互平行的线槽，钢线（11）通过线槽相互平行地缠绕在两个导轮（9）上，所述砂浆喷管（5）和第一喷吹管（8）位于导轮（9）的上方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴翀，张凯，陈博，孟奔，林洪峰，张凤鸣，
申请(专利权)人：天威新能源控股有限公司，
类型：实用新型
国别省市：