线锯的浆料管理装置制造方法及图纸

具备：第1槽（5A），承接浆料废液（3）；离心分离机（14），将第1槽（5A）的浆料废液（3b）导入，将浆料（2）分离；第2槽（5B），承接来自离心分离机（14）的含固态成分的浆料（2）；浆料供给系统路径（26），将第2槽（5B）的浆料（2）向固定磨粒线锯（1）供给；控制器（41），根据装备在将第2槽（5B）的浆料（2）取出并循环的循环流路（28）上的比重计（29）和粘度计（30）的检测值，检测浆料浓度；浆料排出系统路径（33），将第2槽（5B）的浆料（2）的一部分作为废浆料（31）排出；新浆料供给系统路径（38），将新浆料（2a）向第2槽（5B）供给；进行通过浆料排出系统路径（33）的废浆料（31）的排出和通过新浆料供给系统路径（38）的新浆料（2a）的供给，以使由控制器（41）检测出的浆料浓度保持规定浓度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及向固定磨粒线锯供给的浆料的调整较容易并且能够实现稳定的切断的线锯的浆料管理装置。
技术介绍
以往，作为用来将切断对象工件(例如硅锭)切断而形成晶片的装置而使用线锯。在该线锯中，有下述自由磨粒线锯:使施加了张紧的较细的金属线列行进，一边对该金属线列喷吹浆料一边将被切断物推抵在金属线列上，由此将被切断物同时切断为多片晶片状，所述浆料使将切削热除去的冷却剂中含有用来进行切削的磨粒(例如，参照专利文献I)。此外，近年来，有下述固定磨粒线锯:使用在较细的金属线的表面上预先附着了金刚石磨粒等的固定磨粒金属线列，一边对该金属线列喷吹作为冷却剂的浆料一边将被切断物推抵在金属线列上，由此将被切断物同时切断为多片晶片状(例如，参照专利文献2)。在上述自由磨粒线锯及固定磨粒线锯中，为了将硅锭切断而形成许多晶片，一般在从切断作业的开始到结束之间用I个批次操作进行。此外，关于来自这样的线锯的浆料废液，为了资源的有效利用、废弃物的减量化等，研究了通过进行分离回收再利用而实现的浆料管理。在上述自由磨粒线锯中，由于将在冷却剂中混合有磨粒的浆料向金属线供给而将硅锭切断，所以从自由磨粒线锯排出的浆料废液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高须干雄，田中雅也，上田弘明，松下勉，川渕真二，
申请(专利权)人：株式会社IHI回转机械，
类型：
国别省市：