具备：第1槽（5A），承接浆料废液（3）；离心分离机（14），将第1槽（5A）的浆料废液（3b）导入，将浆料（2）分离；第2槽（5B），承接来自离心分离机（14）的含固态成分的浆料（2）；浆料供给系统路径（26），将第2槽（5B）的浆料（2）向固定磨粒线锯（1）供给；控制器（41），根据装备在将第2槽（5B）的浆料（2）取出并循环的循环流路（28）上的比重计（29）和粘度计（30）的检测值，检测浆料浓度；浆料排出系统路径（33），将第2槽（5B）的浆料（2）的一部分作为废浆料（31）排出；新浆料供给系统路径（38），将新浆料（2a）向第2槽（5B）供给；进行通过浆料排出系统路径（33）的废浆料（31）的排出和通过新浆料供给系统路径（38）的新浆料（2a）的供给，以使由控制器（41）检测出的浆料浓度保持规定浓度。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及向固定磨粒线锯供给的浆料的调整较容易并且能够实现稳定的切断的线锯的浆料管理装置。
技术介绍
以往，作为用来将切断对象工件(例如硅锭)切断而形成晶片的装置而使用线锯。在该线锯中，有下述自由磨粒线锯:使施加了张紧的较细的金属线列行进，一边对该金属线列喷吹浆料一边将被切断物推抵在金属线列上，由此将被切断物同时切断为多片晶片状，所述浆料使将切削热除去的冷却剂中含有用来进行切削的磨粒(例如，参照专利文献I)。此外，近年来，有下述固定磨粒线锯:使用在较细的金属线的表面上预先附着了金刚石磨粒等的固定磨粒金属线列，一边对该金属线列喷吹作为冷却剂的浆料一边将被切断物推抵在金属线列上，由此将被切断物同时切断为多片晶片状(例如，参照专利文献2)。在上述自由磨粒线锯及固定磨粒线锯中，为了将硅锭切断而形成许多晶片，一般在从切断作业的开始到结束之间用I个批次操作进行。此外，关于来自这样的线锯的浆料废液，为了资源的有效利用、废弃物的减量化等，研究了通过进行分离回收再利用而实现的浆料管理。在上述自由磨粒线锯中，由于将在冷却剂中混合有磨粒的浆料向金属线供给而将硅锭切断，所以从自由磨粒线锯排出的浆料废液为在冷却剂中混合有磨粒(SiC)和切屑(Si)的状态。因此，为了 将这样的浆料废液分离回收，将浆料废液分离为冷却剂和固态成分，并且将固态成分遵循磨粒=回收、切屑=废弃的两阶段进行分离。这里，在要进行连续分离的情况下，需要将浆料废液连续地抽出、一边监视其抽出量和各自的回收量一边进行磨粒的回收、切屑的废弃、新冷却剂与新磨粒的调合、再生浆料的返送这样的复杂的操作，有管理较困难的问题。因此，来自自由磨粒线锯的浆料废液的浆料管理一般主流为批次式。此外，在上述固定磨粒线锯中，由于将仅由冷却剂构成的浆料向固定磨粒金属线供给而将硅锭切断，所以从固定磨粒线锯排出的浆料废液为在冷却剂中混合了被切削的硅粒子等的结构。专利文献1:特开平11 - 309674号公报 专利文献2:特开2010 — 29998号公报。
技术实现思路
在上述固定磨粒线锯中，已知与上述自由磨粒线锯相比能够大幅提高切断速度，由于切断速度较快，所以如果不精度良好地控制浆料的品质(即，相对于根据浆料中的固态成分的比重得到的浓度考虑到根据固态成分的粘度得到的粒径的表示切断性的浆料浓度)，则有切断品质不稳定的问题。即，即使浆料中的固态成分的浓度较高，在固态成分的粒径较小、粘度较高的情况下切断性也下降。在批次式的浆料管理中，由于切断开始时和切断结束时的浆料浓度较大地变化，切断品质变化，所以难以在固定磨粒线锯的浆料废液的管理中采用批次式。此外，为了使用批次式将稳定的品质的浆料向固定磨粒线锯供给，需要预先储存大量的浆料，所以有设备及成本增加的问题。因此，在固定磨粒线锯的浆料废液的管理中，希望将使用少量的浆料切断的浆料废液连续分离而再利用的管理，但以往关于能够从浆料废液容易而稳定地分离固体粒子、并且能够将调整为适合于切断的浆料浓度的浆料向固定磨粒线锯稳定供给的浆料的管理不存在公开的技术。本专利技术的目的在于提供一种鉴于上述以往的问题点而做出的、向固定磨粒线锯供给的浆料的调整较容易并且能够实现稳定的切断的线锯的浆料管理装置。为了达到上述目的，本专利技术的线锯的浆料管理装置的特征在于，具备 第I槽，承接来自固定磨粒线锯的浆料废液并储存；离心分离机，将该第I槽的浆料废液导入，将固体粒子分离；第2槽，承接由该离心分离机分离了固体粒子的含固态成分的浆料并储存；浆料供给系统路径，将该第2槽的浆料向上述固定磨粒线锯供给；比重计及粘度计，装备在将上述第2槽的浆料取出并循环的循环流路上；控制器，将上述比重计的比重检测值和上述粘度计的粘度检测值取入，检测浆料浓度，所述浆料浓度相对于根据浆料中的固态成分的比重得到的浓度，考虑到根据固态成分的粘度得到的粒径；浆料排出系统路径，将第2槽的浆料的一部分作为废浆料排出；新浆料供给系统路径，将新浆料向上述第2槽供给；上述控制器进行通过上述浆料排出系统路径的废浆料的排出和通过新浆料供给系统路径的新浆料的供给，以使上述检测出 的浆料浓度保持规定浓度。在上述线锯的浆料管理装置中，优选的是，在上述第I槽中具备旋风分离机；将来自上述固定磨粒线锯的浆料废液向旋风分离机引导，将提高了固体粒子的浓度的浆料废液向上述离心分离机供给。此外，在上述线锯的浆料管理装置中，优选的是，上述规定浓度是能够进行通过固定磨粒线锯的稳定切断的最大浓度。此外，在上述线锯的浆料管理装置中，优选的是，将上述第I槽与第2槽一体地构成，使第I槽的浆料废液经由溢流壁向第2槽供给。根据本专利技术的线锯的浆料管理装置，将通过将第I槽中接纳的浆料废液向离心分离机导引、将固体粒子分离得到的含固态成分的浆料向第2槽供给，将该第2槽的浆料向固定磨粒线锯供给，将第2槽的浆料的一部分作为废浆料排出并将新浆料向上述第2槽供给，以使得浆料浓度成为规定浓度，所述浆料浓度相对于表示第2槽的浆料的固态成分的浓度的比重，考虑到表示固态成分的粒径的粘度，所以能够起到下述良好的效果:能够通过比较小容积的第I槽和第2槽及离心分离机从浆料废液稳定地生成规定浓度的浆料，并且通过将规定浓度的浆料向固定磨粒线锯供给，能够确保总是稳定的切断。附图说明图1是表示本专利技术的线锯的浆料管理装置的一实施例的框图。图2是将本专利技术的浆料的管理与在以往中将浆料废液批次处理时的管理比较表示的线图。附图标记说明 I固定磨粒线锯2浆料 2a新浆料 3浆料废液 3a浆料废液 3b浆料废液 5A第I槽 5B第2槽 6溢流壁 7旋风分离机 14离心分离机 15固体粒子 23、24比重计 26浆料供给系统路径 28循环流路 29比重计 30粘度计 31废浆料 33浆料排出系统路径 38新浆料供给系统路径 41控制器 S规定浓度。具体实施例方式以下，结合图示例说明本专利技术的实施方式。图1是表示本专利技术·的线锯的浆料管理装置的一实施例的框图，图中，I是固定磨粒线锯，在固定磨粒线锯I中，被供给由冷却剂构成的浆料2，进行通过未图示的固定磨粒金属线的锭的切断，从固定磨粒线锯I排出的浆料废液3由液体承接容器4承接。图中，5是储存槽，该储存槽5形成有被内部具备的溢流壁6分隔的第I槽5A和第2槽5B，在第I槽5A中设有朝向下侧尖细形状的旋风分离机7。上述液体承接容器4的浆料废液3被具备泵8的废液取入系统路径9向设在上述第I槽5A中的旋风分离机7供给。即，废液取入系统路径9对设在上述尖细形状的旋风分离机7的大径部上的切线方向的导入口 10连接以导入浆料废液3，由此，从旋风分离机7的小径端11将提高了浆料浓度的浆料废液3b取出，此外，从大径侧的中心口 12将浆料浓度下降的浆料废液3a向第I槽5A内排出。上述旋风分离机7的小径端11经由取出系统路径13连接在离心分离机14上，将来自上述小径端11的提高了浆料浓度的浆料废液3b通过离心分离机14分为粒径较大的固体粒子15、和降低了固体粒子的含量的含固态成分的浆料2，将固体粒子15向回收容器16回收，将浆料2向浆料箱17回收。将上述浆料箱17的浆料2通过具备泵18的供给管19向上述第2槽5B供给。在上述取出系统路径13和供给管19本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：高须干雄，田中雅也，上田弘明，松下勉，川渕真二，
申请(专利权)人：株式会社IHI回转机械，
类型：
国别省市：
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