【技术实现步骤摘要】
本技术属于漏孔装置，具体为一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置。
技术介绍
漏孔一般分为小孔、缺陷或缝隙以及渗透元件或漏气装置，漏孔的标定通常使用压力容积法或质谱比较法。对于小孔、缺陷或缝隙以及渗透元件而言，漏率值一般是固定的，无法宽范围内调节，因而进行漏率的连续调节必须设计专用的漏孔装置。对于漏孔的漏率需要使用压力容积法或质谱比较法等进行标定，通常需要使用专用装置在实验室进行，标定漏率后再拆下安装至需要漏孔的真空设备或装置。因此一般漏孔无法进行宽范围的调节并在现场进行标定。同时如果真空设备或装置内存在腐蚀气体，常会腐蚀漏孔，导致腐蚀气体从漏孔泄漏，常见漏孔通常无法用于腐蚀环境。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置。本技术的技术方案为:一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括依次连接的I号阀门、冷阱和I号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的II号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的I号真空计、III号...
【技术保护点】
一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括依次连接的Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积；其中，Ⅰ号真空计与Ⅲ号阀门、标定容积处于Ⅱ号阀门和微调阀之间；气源组件包括设置在主管道上的Ⅳ号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组，在稳压罐上还连接有Ⅱ号真空计，稳压罐与气源、稳压罐与Ⅱ号真空泵机组之间分别设置有Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门，气源连接Ⅲ号真空计。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赫梓宇，李德鑫，王永华，韩树昌，姜秀珍，邱志恒，周永胜，郭子学，胡士华，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：实用新型
国别省市：
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