一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积；气源组件包括Ⅳ号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组。本实用新型专利技术所提供的一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，可选择漏入的气体介质，能够在10-6Pa·m3/s到10-2Pa·m3/s的宽范围内进行漏率的准确调节，可实时在线标定，并可应用于腐蚀环境。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于漏孔装置，具体为一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置。
技术介绍
漏孔一般分为小孔、缺陷或缝隙以及渗透元件或漏气装置，漏孔的标定通常使用压力容积法或质谱比较法。对于小孔、缺陷或缝隙以及渗透元件而言，漏率值一般是固定的，无法宽范围内调节，因而进行漏率的连续调节必须设计专用的漏孔装置。对于漏孔的漏率需要使用压力容积法或质谱比较法等进行标定，通常需要使用专用装置在实验室进行，标定漏率后再拆下安装至需要漏孔的真空设备或装置。因此一般漏孔无法进行宽范围的调节并在现场进行标定。同时如果真空设备或装置内存在腐蚀气体，常会腐蚀漏孔，导致腐蚀气体从漏孔泄漏，常见漏孔通常无法用于腐蚀环境。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置。本技术的技术方案为:一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括依次连接的I号阀门、冷阱和I号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的II号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的I号真空计、III号阀门、标定容积；其中，I号真空计与III号阀门、标定容积处于II号阀门和微调阀之间；气源组件包括设置在主管道上的IV号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、II号真空泵机组，在稳压罐上还连接有II号真空计，稳压罐与气源、稳压罐与II号真空泵机组之间分别设置有V号阀门、VI号阀门，气源连接II I号真空计。本技术所提供的一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，可选择漏入的气体介质，能够在10_6Pa.m3/s到10_2Pa.m3/s的宽范围内进行漏率的准确调节，可实时在线标定，并可应用于腐蚀环境。附图说明图1为本技术一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置的结构示意图。其中:I主管道2抽空组件3漏率调节与标定组件4气源组件5真空设备6总阀门7 I号阀门8冷阱9 I号真空泵机组10 II号阀门11微调阀12 I号真空计13 III号阀门14标定容积15 IV号阀门16稳压罐17 II号真空计18 V号阀门19气源20 III号真空计21 VI号阀门22 II号真空泵机组。具体实施方式下面，结合附图对本技术一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置做进一步说明:如图1所示，一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置(以下简称漏孔装置)，包括主管道1，和与主管道I连通的抽空组件2、漏率调节与标定组件3、气源组件4。真空设备5连接在漏孔装置主管道I的前端，在主管道I上、邻近真空设备5设置有总阀门6，用于实现漏孔装置与真空设备5的连接与断开。抽空组件2位于主管道I的一侧，包括依次连接的I号阀门7、冷阱8和I号真空泵机组9。漏率调节与标定组件3包括设置在主管道I上的II号阀门10、微调阀11，以及依次连接的I号真空计12、111号阀门13、标定容积14 ;其中，I号真空计12与III号阀门13、标定容积14分别位于主管道I的两侧，处于II号阀门10和微调阀11之间。在主管道I的末端设置有气源组件4，气源组件4包括设置在主管道I上的IV号阀门15、稳压罐16，以及与稳压`罐16连接的气源19、II号真空泵机组22，在稳压罐16上还连接有II号真空计17，稳压罐16与气源19、稳压罐16与II号真空泵机组22之间分别设置有V号阀门18、VI号阀门21，气源19连接III号真空计20。漏孔装置的各部件之间均通过管道连通，漏孔装置与真空设备采用过渡件或快速连接法兰形式实现连接；装置材料选用不锈钢，接口之间的橡胶垫采用耐腐蚀的氟橡胶，使得漏孔装置可以应用于腐蚀环境。本技术一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置的使用方法为:( i )连接整套漏孔装置并接入真空设备5，对真空设备5以及漏孔装置进行检漏；(ii)关闭总阀门6和微调阀11，开I号阀门7、II号阀门10、III号阀门13，通过抽空组件2对漏率调节与标定组件3进行抽空，抽空完成后，关闭II号阀门10，用秒表确定标定容积14压力上涨IPa所需时间，按公式VAp,一 、Q =-:一计算放气率，式中一该温度下标定容积的放气率；V一标定容积大小(单位为 Aim3) 一测试的时间间隔(单位为s) —在&时间内标定容积的压力变化值(单位为Pa)。如果放气率基本不变则记录其数值开始进行调节。(iii)打开I号阀门7、II号阀门10、111号阀门13，关闭其他阀门，开启I号真空泵机组9的前级泵，待I号真空计12的读数降至IOOPa以下，开启后级泵，待I号真空计12的读数降至0.1Pa以下，关闭I号阀门7、II号阀门10、停止I号真空泵机组9。(iv)开启II号真空泵机组22的前级泵，打开IV号阀门15、VI号阀门21，待II号真空计17读数降至IOOPa以下，开启后级泵，将II号真空计17读数降至I Pa以下。(V)稳压罐16压力至小于IPa，关闭VI号阀门21，通过V号阀门18和气源19向稳压罐16供入气体介质至所需压力，维持稳压罐16压力保持恒定，如果压力高则打开II号真空泵机组22、VI号阀门21，使稳压罐16压力降至原值，关闭VI号阀门21，如压力低则打开V号阀门18，使稳压罐16压力上升至原值，关闭V号阀门18。(Vi)缓慢打开微调阀11，调节至一漏率，用秒表记录上涨压力和所需时间，根据公式β = ￥计算实际漏率大小，根据计算漏率反复调节微调阀11，直到所需漏率。 M(Vii)维持稳压罐16压力稳定，打开I号阀门7、II号阀门10，通过抽空组件2对漏率调节与标定组件3进行抽空，至压力低于真空设备5内部的压力，关闭III号阀门13，打开总阀门6实现与真空设备5连接。本技术所提供的一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，可选择漏入的气体介质，能够在10_6Pa.m3/s到10_2Pa.m3/s的宽范围内进行漏率的准确调节，可实时在线标定，并可应用于 腐蚀环境。权利要求1.一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括依次连接的I号阀门、冷阱和I号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的II号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的I号真空计、III号阀门、标定容积；其中，I号真空计与III号阀门、标定容积处于II号阀门和微调阀之间；气源组件包括设置在主管道上的IV号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、II号真空泵机组，在稳压罐上还连接有II号真空计，稳压罐与气源、稳压罐与II号真空泵机组之间分别设置有V号阀门、 VI号阀门，气源连接III号真空计。专利摘要本技术提供了一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积；气源组件包括Ⅳ号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组。本技术所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种耐腐蚀的可连续调节并实时在线标定的漏孔装置，包括主管道，和与主管道连通的抽空组件、漏率调节与标定组件、气源组件；抽空组件包括依次连接的Ⅰ号阀门、冷阱和Ⅰ号真空泵机组；漏率调节与标定组件包括设置在主管道上的Ⅱ号阀门、微调阀，以及与主管道连通并依次相连的Ⅰ号真空计、Ⅲ号阀门、标定容积；其中，Ⅰ号真空计与Ⅲ号阀门、标定容积处于Ⅱ号阀门和微调阀之间；气源组件包括设置在主管道上的Ⅳ号阀门、稳压罐，以及与稳压罐连接的气源、Ⅱ号真空泵机组，在稳压罐上还连接有Ⅱ号真空计，稳压罐与气源、稳压罐与Ⅱ号真空泵机组之间分别设置有Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门，气源连接Ⅲ号真空计。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赫梓宇，李德鑫，王永华，韩树昌，姜秀珍，邱志恒，周永胜，郭子学，胡士华，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：实用新型
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