液晶显示面板及其制造方法和阵列基板及其制造方法技术

本发明专利技术包括：多个开关元件，其在透明基板（10）上按各子像素分别设置，各自具有以相互分离的方式配置的源极电极和漏极电极（14b）；以覆盖各开关元件的方式设置、依次叠层无机绝缘膜（15）和有机绝缘膜（16）而得到的层间绝缘膜（17）；设置在层间绝缘膜（17）上的电容电极（18a）；以覆盖电容电极（18a）的方式设置的电容绝缘膜（19）；和多个像素电极（20a），其设置在电容绝缘膜（19）上，与电容电极（18a）相对地按各子像素构成辅助电容（6），以与电容电极（18a）绝缘的状态分别与各开关元件的漏极电极（14b）连接，并且，包括漏极电极（14b）和电容电极（18a）隔着从有机绝缘膜（16）露出的无机绝缘膜（15）相互重叠的连接区域（R）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，特别涉及液晶显示面板及构成它的阵列基板中的黑点化的缺陷修正技术。
技术介绍
液晶显示面板例如包括:按各个作为图像的最小单位的子像素设置薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下也称为“TFT”)等而得到的TFT阵列基板；以与TFT阵列基板相对的方式设置的对置基板；和设置在TFT阵列基板与对置基板之间的液晶层。TFT阵列基板例如包括:以相互平行地延伸的方式设置的多个栅极线；分别设置在各栅极线之间，以相互平行地延伸的方式配置的多个电容线；以覆盖各栅极线和各电容线的方式设置的栅极绝缘膜；以在与各栅极线正交的方向上相互平行地延伸的方式设置在栅极绝缘膜上的多个源极线；按各栅极线和各源极线的每个交叉部分分别设置的多个TFT ;以覆盖各TFT和各源极线的方式设置的层间绝缘膜；和在层间绝缘膜上设置为矩阵状，与各TFT分别连接的多个像素电极。TFT例如包括:设置在玻璃基板等透明基板的栅极电极；以覆盖栅极电极的方式设置的栅极绝缘膜；在栅极绝缘膜上以与栅极电极重叠的方式设置为岛状的半导体层；和在半导体层上以相互分离的方式设置的源极电极和漏极电极。此处，栅极电极例如为各栅极线向侧面突出的部分。此外，源极电极例如为各源极线向侧面突出的部分。而且，漏极电极通过经形成于层间绝缘膜的接触孔与像素电极连接，并且隔着栅极绝缘膜与电容线重叠而构成辅助电容。在液晶显示面板，如果在按各子像素设置的TFT中，例如在源极电极与漏极电极之间存在具有导电性的异物或残膜`等，则存在源极电极与漏极电极短路的问题。如此，在该子像素的像素电极总是被输入来自源极线的显示信号，所以该子像素容易作为亮点被检测出来。因此，在被检测出亮点的子像素，例如通过切断漏极电极并且将被切断的漏极电极的与像素电极连接的一侧与栅极线或电容线连接，进行将亮点变成黑点的缺陷修正。例如，在专利文献1，公开有如下的缺陷像素的修正方法:在具有未被施加来自数据总线(源极线)的数据信号(显示信号)的缺陷像素的像素电极的TFT方式的液晶显示装置中，在与栅极总线(栅极线)连接的TFT的栅极电极的部分照射光能，经由漏极电极将该栅极电极与缺陷像素的像素电极电连接，向缺陷像素的像素电极输入栅极总线的扫描信号。此处，因为在如专利文献I所述那样将漏极电极与栅极线电连接的修正方法中，根据液晶层的灰度等级特性的不同存在亮点不成为黑点而作为中间灰度等级的亮点被检测出来的情况，所以，在液晶显示面板的制造中，将漏极电极与电容线电连接而黑点化的修正方法成为主流。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平9-179143号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题因此，在上述结构的TFT阵列基板，因配置在各子像素的遮光性的电容线而使开口率变低，因此，通过代替电容线、在层间绝缘膜与各像素电极之间依次配置透明的电容电极和绝缘膜，由电容电极、各像素电极和它们之间的绝缘膜构成辅助电容，实现提高了开口率的高开口率的TFT阵列基板被提案。但是，在该高开口率的TFT阵列基板，如果层间绝缘膜由将比较薄的无机绝缘膜和比较厚的有机绝缘膜依次叠层而得到的叠层膜构成，则在进行黑点化的缺陷修正时，即使从透明基板一侧向连接处照射激光，也难以将漏极电极和与电容线相当的电容电极电连接。这被认为是因为，由于激光的照射，即使漏极电极的金属在层间绝缘膜中飞散，但因为构成层间绝缘膜的有机绝缘膜比较厚，所以漏极电极的金属未到达与电容线相当的电容电极。与此相对，在上述的低开口率的TFT阵列基板，当从透明基板一侧向连接处照射激光时，电容线的金属在比较薄的栅极绝缘膜中飞散而到达漏极电极，由此，漏极电极与电容线电连接，能够进行黑点化的缺陷修正。本专利技术是鉴于该问题而完成的，其目的在于，在黑点化的缺陷修正中，可靠地连接漏极电极与电容电极。用于解决问题的方式为了达到上述目的，本专利技术构成为，将无机绝缘膜和有机绝缘膜依次叠层而形成漏极电极与电容电极之间的层间绝缘膜，具备漏极电极和电容电极隔着从有机绝缘膜露出的有机绝缘膜相互重叠的连接区域。具体而言，本专利技术的液晶显示面板包括:多个子像素；以彼此相对的方式设置的阵列基板和对置基板；和设置在上述阵列基板和对置基板之间的液晶层，上述阵列基板包括:多个开关元件，其在透明基板 上按上述各子像素分别设置，各自具有以相互分离的方式配置的源极电极和漏极电极；以覆盖上述各开关元件的方式设置，依次叠层无机绝缘膜和有机绝缘膜而得到的层间绝缘膜；设置在上述层间绝缘膜上的电容电极；以覆盖上述电容电极的方式设置的电容绝缘膜；和多个像素电极，其设置在上述电容绝缘膜上，与上述电容电极相对地按上述各子像素构成辅助电容，以与该电容电极绝缘的状态分别与上述各开关元件的漏极电极连接，在上述阵列基板设置有上述漏极电极和电容电极隔着从上述有机绝缘膜露出的上述无机绝缘膜相互重叠的连接区域。根据上述结构，在阵列基板，将无机绝缘膜和有机绝缘膜依次叠层而形成漏极电极与电容电极之间的层间绝缘膜，具备漏极电极和电容电极隔着从有机绝缘膜露出的无机绝缘膜相互重叠的连接区域，因此，在漏极电极和电容电极相互重叠的连接区域，作为将漏极电极与电容电极之间电绝缘的绝缘膜，不配置比较厚的有机绝缘膜，而仅配置比较薄的无机绝缘膜。因此，在源极电极与漏极电极之间发生短路的子像素作为亮点被检测出来的情况下，例如，在该发生短路的子像素，通过从透明基板一侧向漏极电极照射激光，使得漏极电极的金属在层间绝缘膜(无机绝缘膜和有机绝缘膜)中飞散而切断漏极电极，并且，通过从透明基板一侧向漏极电极和电容电极隔着无机绝缘膜相互重叠的连接区域照射激光，使得漏极电极的金属在比较薄的无机绝缘膜中飞散而容易到达电容电极，因此，能够将被切断的漏极电极的与像素电极连接的一侧与电容电极可靠地连接。由此，在发生短路的子像素，像素电极被固定在电容电极的电位(例如，接地电位)，亮点成为黑点，因此，在液晶显示面板的黑点化的缺陷修正中，漏极电极与电容电极可靠地被连接。在上述各像素电极，也可以以与上述连接区域重叠的方式设置开口部。根据上述结构，在各像素电极，例如以与连接区域重叠的方式设置开口部作为用于限制液晶层的取向的结构体，因此能够抑制由于对连接区域照射激光而引起的像素电极的损伤。在上述阵列基板的上述连接区域，也可以在上述透明基板上依次叠层有栅极绝缘膜、上述漏极电极、无机绝缘膜、电容电极、电容绝缘膜和各像素电极。根据上述结构，在阵列基板的连接区域，具有像素电极(最上层)/电容绝缘膜/电容电极/无机绝缘膜/漏极电极/栅极绝缘膜/透明基板(最下层)的叠层结构，因此具体地构成漏极电极和电容电极能够可靠地被连接的基板结构。此外，本专利技术的液晶显示面板的制造方法的特征在于:上述液晶显示面板包括:多个子像素；以彼此相对的方式设置的阵列基板和对置基板；和设置在上述阵列基板和对置基板之间的液晶层，上述阵列基板包括:多个开关元件，其在透明基板上按上述各子像素分别设置，各自具有以相互分离的方式配置的源极电极和漏极电极；以覆盖上述各开关元件的方式设置，依次叠层无机绝缘膜和有机绝缘膜而得到的层间绝缘膜；设置在上述层间绝缘膜上的电容电极；以覆盖上述电容电极的方式设置的电容绝缘膜；和多个像素电极，其设置在上述电容绝缘膜上，与上述电容电极相对地按上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：原义仁，中田幸伸，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：