定位器系统及定位方法技术方案

技术编号:8983240 阅读:155 留言:0更新日期:2013-08-01 01:57
一种用于定位负载的系统,其包括支撑柱、耦合至支撑柱的驱动导轨单元,该驱动导轨单元相对于支撑柱可动,沿着支撑柱可动的支撑负载的垂直滑架、接合驱动导轨且沿驱动导轨移动的接合部件,以及向接合部件施加力从而致使接合部件沿驱动导轨移动的马达。该马达耦合至垂直滑架,从而当马达向接合部件施加力时,所述垂直滑架相对于驱动导轨单元移动,垂直滑架还可随驱动导轨单元移动,以使得所述垂直滑架和驱动导轨单元相对于支撑柱移动。本发明专利技术还提供了一种定位负载的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及定位器系统及定位负载方法的
特别是,公开了一种用于自动集成电路(IC)测试设备的测试头定位器及一种定位IC测试设备的方法。
技术介绍
用于集成电路(ICs)的自动测试设备(ATE)已发展至使得便于在IC制造过程所选阶段的IC的电子测试。这样的ATE通常包括测试头,使用测试头定位器(或机械手),该测试头必须被操作进入与测试外设的对接位置。测试头定位器通常描述在例如美国专利第 7276894、7245118、6911816、6888343、5608334、5450766、5030869、4893074、4715574、4705447,4527942 号和 WIPO 公开第 W005015245A2、W02008137182A2 和 W004031782A1 号里。用于它们在用于集成电路或其它电子装置的自动测试设备的测试头定位器领域的教导,前述文件的全部内容通过引用并入本文。简言之,传统的自动测试系统通常包括用于将IC待测设备(DUT)精确置于且约束在固定位置测试点的外围设备。还包括用于测试DUT的可动测试头。外围设备例如可以是用于测试装置的晶片探测器,在它们与硅晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:CL韦斯特CP纳彭
申请(专利权)人:因泰斯特公司
类型:
国别省市:

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