【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及定位器系统及定位负载方法的
特别是,公开了一种用于自动集成电路(IC)测试设备的测试头定位器及一种定位IC测试设备的方法。
技术介绍
用于集成电路(ICs)的自动测试设备(ATE)已发展至使得便于在IC制造过程所选阶段的IC的电子测试。这样的ATE通常包括测试头,使用测试头定位器(或机械手),该测试头必须被操作进入与测试外设的对接位置。测试头定位器通常描述在例如美国专利第 7276894、7245118、6911816、6888343、5608334、5450766、5030869、4893074、4715574、4705447,4527942 号和 WIPO 公开第 W005015245A2、W02008137182A2 和 W004031782A1 号里。用于它们在用于集成电路或其它电子装置的自动测试设备的测试头定位器领域的教导,前述文件的全部内容通过引用并入本文。简言之,传统的自动测试系统通常包括用于将IC待测设备(DUT)精确置于且约束在固定位置测试点的外围设备。还包括用于测试DUT的可动测试头。外围设备例如可以是用于测试装置的晶片 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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