本发明专利技术提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括：隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括：Ag-Sm-Cu合金膜或Ag-Bi-Nd合金膜，其中，按原子数计，Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，含有0.1％以上5.0％以下的Nd，上述Ag-Sm-Cu合金膜或Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干涉滤波器(interference filter)、光模块以及电子设备。
技术介绍
已知有在基板的相对的面上相对地配置反射膜(光学膜)的干涉滤波器。这种干涉滤波器具有保持平行的一对基板和在该对基板上以具有一定间隔的间隙的方式形成的一对反射膜。对于这种干涉滤波器,使光在一对反射膜之间进行反射、使与间隙对应的特定波长的光透过、并利用干涉使其他波长的光相互抵消，由此从入射光中分离出特定波长的光。例如，在专利文献I公开的干涉滤波器(可变干涉滤波器)中，作为反射膜，使用了 Au、Al、Cu等金属薄膜。在先技术文献专利文献专利文献1:特开平2-12218号公报为了确保干涉滤波器的分光精度，作为反射膜所需的性能有:光的高反射特性以及透过特性。并且，需要反射特性及透过特性不因经时变化而下降。但是，以金属薄膜作为反射膜很难满足反射特性和透过特性这两种相反的特性并兼备耐久性。特别是，如果反射膜的透过率低，在光检测器中检测透过光时将会有噪声，从而分光精度下降。因此，期望得到一种满足反射特性及透过特性并可长时间维持分光精度的反射膜的结构。
技术实现思路
本专利技术用于解决上述问题中的至少一部分，并且可以通过以下方式或应用例实现。应用例I本应用例涉及的干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，上述反射膜包括:含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜，按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1%以上0.5%以下的Sm，含有0.1%以上0.5%以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0 %以下,上述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为IOnm以上40nm以下。干涉滤波器中的反射膜具有透过光的透过特性和反射光的反射特性，例如，从外部透过一侧的反射膜入射到两个(一对)反射膜之间的光在反射膜之间进行反射，使特定波长的光从一侧或另一侧的反射膜透过。根据本应用例，在干涉滤波器中，隔着间隙相对的反射膜包括=Ag-Sm-Cu合金膜。而且，由于Ag-Sm-Cu合金膜具有上述组成，因此由于处理加工或经时变化的特性的下降会变小，可以更可靠的抑制干涉滤波器的性能下降。而且，如果Sm以及Cu的含量不足0.1%，则由于处理加工或经时变化的反射率下降会变大。如果Sm以及Cu的含量超过0.5%，则反射率会变低。进一步的，如果Sm以及Cu的含量的合计超过1.0%，则反射率会变低。进一步地，由于Ag-Sm-Cu合金膜的厚度在IOnm以上40nm以下，因此反射膜不仅具有光的反射特性而且还具有透过特性，特别是可以得到良好的透过特性，并可以确保满足性能的标准具的良好的分光精度。应用例2优选地，在上述应用例涉及的干涉滤波器中，上述反射膜为上述Ag-Sm-Cu合金膜的单层膜。根据该结构，反射膜为由Ag-Sm-Cu合金膜形成的单层膜，因此反射膜在可见光波长范围内，在较宽的波长区域中具有高反射率。而且，在本专利技术中，将可见光波长范围设定为400nm以上700nm以下的范围。应用例3优选地，上述应用例涉及的干涉滤波器具备支撑上述反射膜的透光性基板，上述反射膜包括:介电膜以及上述Ag-Sm-Cu合金膜，并从靠近上述基板的位置开始依次设置上述介电膜、上述Ag-Sm-Cu合金膜。根据该结构，反射膜从基板侧开始以介电膜、Ag-Sm-Cu合金膜的顺序设置，因此与没有设置介电膜的情况相比，可提高可见光波长范围内的短波长侧的反射率。应用例4优选地，在上述应用例涉及的干涉滤波器中，上述反射膜包括保护上述Ag-Sm-Cu合金膜的保护膜。根据该结构，由于具有保护Ag-Sm-Cu合金膜的保护膜，因此由于流程加工或经时变化的反射膜中的合金膜的反射率下降会进一步变小，可进一步抑制干涉滤波器的性能下降。应用例5本应用例涉及的干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，上述反射膜包括:含有银(Ag)、铋(Bi)以及钕(Nd)的Ag-B1-Nd合金膜，按原子数计，所述Ag-B1-Nd合金膜含有0.1%以上3.0%以下的Bi，且含有0.1%以上5.0 %以下的Nd，上述Ag-B1-Nd合金膜的厚度为IOnm以上40nm以下。根据本应用例，在干涉滤波器中，隔着间隙相对的反射膜包括=Ag-B1-Nd合金膜。而且，由于Ag-B1-Nd合金膜具有上述组成，因此由于处理加工或经时变化的特性的下降会变小，可以更可靠地抑制干涉滤波器的性能下降。而且，如果Bi以及Nd的含量不足0.1 %，则由于处理加工或经时变化的反射率下降会变大。如果Bi的含量超过3.0%或Nd的含量超过5.0 %，则反射率会变低。进一步地，由于Ag-B1-Nd合金膜的厚度在IOnm以上40nm以下，因此反射膜不仅具有光的反射特性而且还具有透过特性，特别是可以得到良好的透过特性，并可以确保满足性能的标准具的良好的分光精度。应用例6优选地，在上述应用例涉及的干涉滤波器中，优选上述反射膜为上述Ag-B1-Nd合金膜的单层膜。根据该结构，反射膜为由Ag-B1-Nd合金膜形成的单层膜，因此反射膜在可见光波长范围内，在较宽的波长区域中具有高反射率。而且，在本专利技术中，将可见光波长范围设定为400nm以上700nm以下的范围。应用例7优选地，上述应用例涉及的干涉滤波器具备支撑上述反射膜的透光性基板，上述反射膜包括:介电膜以及上述Ag-B1-Nd合金膜，从靠近上述基板的位置开始依次设置上述介电膜、上述Ag-B1-Nd合金膜。根据该结构，反射膜从基板侧开始依次设置介电膜、Ag-B1-Nd合金膜，因此与没有设置介电膜的情况相比，可提高可见光波长范围内的短波长侧的反射率。应用例8优选地，在上述应用例涉及的干涉滤波器中，上述反射膜包括保护上述Ag-B1-Nd合金膜的保护膜。根据该结构，由于具有保护Ag-B1-Nd合金膜的保护膜，因此由于处理加工或经时变化的反射膜中的合金膜的反射率下降会进一步变小，可进一步抑制干涉滤波器的性能下降。应用例9本应用例涉及的光学模块具备:两个反射膜，隔着间隙相互面对；检测部，检测透过了上述反射膜的光的光量，其中，上述反射膜包括:含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜，按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1 %以上0.5%以下的Sm，含有0.1 %以上0.5%以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0 %以下，上述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为IOnm以上40nm以下。根据该光学模块，反射膜包括:上述组成的Ag-Sm-Cu合金膜，并且其厚度为IOnm以上40nm以下。由此，可以提供一种可以抑制反射膜的性能下降，可以获得良好的透过特性，将透过了反射膜的所希望波长的光的光量准确地在检测部中进行检测的光学模块。应用例10本应用例涉及的光学模块具备:两个反射膜，隔着间隙相互面对；检测部，检测透过了上述反射膜的光的光量，其中，上述反射膜包括:含有银(Ag)、铋(Bi)以及钕(Nd)的Ag-B1-Nd合金膜，按原子数计，所述Ag-B1-Nd合金膜含有0.1 %以上3.0 %以下的Bi，且含有0.1 %以上5.0%以下的Nd，上述Ag-B1-Nd合金膜的厚度为IOnm以上40nm以下。根据该光学模块，反射膜包括:上述组成的Ag-B1-Nd合金膜，并且其厚度为IOnm以上40nm以下。由本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中，所述反射膜包括：含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag?Sm?Cu合金膜，按原子数计，所述Ag?Sm?Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，所述Ag?Sm?Cu合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。
【技术特征摘要】
2012.01.18 JP 2012-0078191.一种干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中， 所述反射膜包括:含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag-Sm-Cu合金膜， 按原子数计，所述Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1 %以上0.5 %以下的Sm，含有0.1 %以上0.5%以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0%以下， 所述Ag-Sm-Cu合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。2.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述反射膜为所述Ag-Sm-Cu合金膜的单层膜。3.根据权利要求1所述的干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备支撑所述反射膜的透光性基板，其中， 所述反射膜包括:介电膜以及所述Ag-Sm-Cu合金膜， 从靠近所述基板的位置开始依次设置所述介电膜、所述Ag-Sm-Cu合金膜。4.根据权利要求1至3中任一项所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述反射膜包括:保护所述Ag-Sm-Cu合金膜的保护膜。5.一种干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜，其中， 所述反射膜包括:含有银(Ag)、铋(Bi)以及钕(Nd)的Ag-B1-Nd合金膜， 按原子数计，所述Ag-B1-Nd合金膜含有0.1 %以上3.0 %以下的Bi，且含有0.1 %以上5.0%以下的Nd， 所述Ag-B1-Nd合金膜的厚度为IOnm以上40nm以下。6.根据权利要求5所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述反射膜为所述Ag-B1-Nd合金膜的单层膜。7.根据权利要求5所述的干涉滤波器，其特征在于，所述干涉滤波器具备支撑所述反射膜的透光性基板，其中， 所述反射膜包括:介电膜以及所述Ag-B1-Nd合金膜，从靠近所述基板的位置开始依次设置所述介电膜、所述Ag-B1-Nd合金膜。8.根据权利要求5至7中任一项所述的干涉滤波器，其特征在于， 所述反射膜包括:保护所述Ag-B1-Nd合金膜的保护膜。9.一种光学模块，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：新东晋，北原浩司，松下友纪，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
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