超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法技术

超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法，本发明专利技术涉及一种针对气囊抛光技术获取工件边缘去除函数的测量方法。本发明专利技术是要解决目前方法无法通过实验测量或仿真的方法获得气囊抛光工件边缘区域去除函数的问题，而提供了超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法。一、对工件进行加工与测量；二、二维与三维测量数据的缝接。本发明专利技术应用于边缘去除函数领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种针对气囊抛光技术获取工件边缘去除函数的测量方法。
技术介绍
“边缘效应”被视为当前大口径非球面抛光过程中的技术难点，产生的原因是抛光工具对工件边缘的非连续局部作用，导致工件边缘区域的精度急剧下降，典型的现象是“塌边”，一旦出现“塌边”，整个加工过程就要从头开始，甚至被放弃。“边缘效应”是大多数计算机控制抛光技术难以避免的问题，严重制约了加工精度和效率。由于气囊抛光技术中抛光工具为柔性的充气气囊，机械结构复杂，抛光过程中的“边缘效应”更为显著。工件边缘精度控制是气囊抛光大口径非球面的重要关键技术，而获取气囊抛光工具在工件边缘的去除函数是进行边缘精度控制的关键。当高速旋转的抛光气囊伸出工件边界时，工件边缘区域的材料去除量会极度增大，这样的陡度会超出干涉仪的测量能力，因此无法通过干涉仪测得完整的三维去除函数。实验表明，利用直径80mm的抛光气囊、20mm的去除函数,约有5mm的边缘区域无法获得干涉条纹。工件边缘区域的去除函数可以根据Preston方程进行仿真获得，Preston方程对抛光过程材料去除特性的描述如下:dz/dt = k.V.Pk为比例常数，它与被抛光材料、本文档来自技高网...

【技术保护点】
超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法，其特征在于超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法按以下步骤实现：一、对工件进行加工与测量(1)在工件边缘定点抛光，生成工件边缘去除函数；(2)利用干涉仪对工件边缘去除函数进行测量，得到三维测量数据；(3)利用轮廓仪对工件边缘去除函数进行横向扫描测量，得到工件边界上的材料去除深度，即二维测量数据；二、二维与三维测量数据的缝接(1)通过对步骤一(3)中工件边界上的材料去除深度进行差值运算，得到工件边界上的材料去除深度分布曲线；(2)通过对步骤一(2)中的三维测量数据与步骤二中(1)中工件边界上的材料去除分布曲线的数据进行差值运算，实现工件边缘...

【技术特征摘要】
1.超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法，其特征在于超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法按以下步骤实现: 一、对工件进行加工与测量 (1)在工件边缘定点抛光，生成工件边缘去除函数； (2)利用干涉仪对工件边缘去除函数进行测量，得到三维测量数据； (3)利用轮廓仪对工件边缘去除函数进行横向扫描测量，得到工件边界上的材料去除深度，即二维测量数据； 二、二维与三维测量数据的缝接 (1)通过对步骤一(3)中工件边界上的材料去除深度进行差值运算，得到工件边界上的材料去除深度分布曲线； (2...

【专利技术属性】
技术研发人员：李洪玉，汪洪源，张伟，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：