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超精密气囊抛光技术中工件边缘去除函数的测量方法，本发明涉及一种针对气囊抛光技术获取工件边缘去除函数的测量方法。本发明是要解决目前方法无法通过实验测量或仿真的方法获得气囊抛光工件边缘区域去除函数的问题，而提供了超精密气囊抛光技术中工件边缘去除...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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