分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置及测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术所设计的一种主轴回转误差的电跳动在位测量装置，在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且其所在的圆周与被测回转体同轴，在第二电涡流传感器的轴向位置紧靠设有一个角度传感器，上述所有传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。主轴回转误差的电跳动在位测量方法，通过调节装置使各个传感器处于合适位置；测量时，被测回转体旋转，转速固定不变，在测量软件中设置测量参数，启动传感器开始进行测量及数据采集，计算机对传输进来的数据进行分析处理，最后输出测量处理结果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及精密在位测量
，尤其是一种。
技术介绍
电跳动(Electrical Runout, ER0)表征精密回转体零件(如透平机、发电机、内燃机、机床 主轴等及其它大型转子)材料电磁性质的不均匀性，影响机器的振动及运行可靠性，是转子加工质量的一项重要评价指标。美国石油学会标准API612、API617对电跳动等跳动误差作了明确限制，要求转子综合跳动不超过振动峰峰值的25%或者6.3 μ。综合跳动是电跳动与机械跳动的总和，机械跳动反映的是零件的机械加工误差。机械跳动量的测量方法较多，机械跳动误差的控制比较容易。电跳动量的检测主要采用电涡流传感器来进行，需要与机械跳动量配合同步测量，由于机床主轴回转误差的存在，很难达到精密测量的高精度要求。目前，对机床主轴回转误差进行分离，在位测量电跳动、机械跳动等跳动误差尚无十分成熟有效的方法和仪器。20世纪60年代发展起来的误差分离技术(Error Separation Technique, EST),能够将被测回转体形状误差与机床主轴回转误差分离开。由此可以在不提高测量仪器原制造精度的前提下，大幅度提高测量精度。目前，常用的回转误差本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，它主要包括激光位移传感器、电涡流传感器和角度传感器，其特征是在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，激光位移传感器设置在第一电涡流传感器和第二电涡流传感器中间位置，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且第一电涡流传感器、第二电涡流传感器与激光位移传感器所在的圆周与被测回转体同轴，角度传感器与第二电涡流传感器在轴向上紧靠布置。角度传感器、第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。

【技术特征摘要】
1.一种分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，它主要包括激光位移传感器、电涡流传感器和角度传感器，其特征是在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，激光位移传感器设置在第一电涡流传感器和第二电涡流传感器中间位置，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且第一电涡流传感器、第二电涡流传感器与激光位移传感器所在的圆周与被测回转体同轴，角度传感器与第二电涡流传感器在轴向上紧靠布置。角度传感器、第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。2.根据权利要求1所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是在与激光位移传感器同一轴向位置设有霍尔传感器，在与霍尔传感器对应位置的被测回转体上设有能被霍尔传感器识别的标记磁体。3.根据权利要求1或2所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是上述所有的传感器均安装在可沿径向移动和与在测量截面偏转摆动的调节装置上，调节装置设置在测量支架上，调节装置由精密位移台和角位移台组成。4.根据权利要求1或2所述的分离主轴回转...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖海鸣，林载誉，杨将新，陈小龙，
申请(专利权)人：杭州汽轮机股份有限公司，
类型：发明
国别省市：