下载分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置及测量方法的技术资料

文档序号:8954040

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本发明所设计的一种主轴回转误差的电跳动在位测量装置,在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器,第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上,且其所在的圆周与被测回转体同轴,在第二电涡流传感...
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