研磨装置制造方法及图纸

一种研磨装置，具有：研磨部件（9），研磨被研磨物（4）且具有平坦研磨面（10）；保持部（2），所述保持部（2）具有朝所述研磨面（10）且向下开口的收容部（6），所述收容部（6）中，在保持所述被研磨物（4）的同时通过自重将所述被研磨物（4）按压到所述研磨面（10）；移动机构（3），通过使所述保持部（2）和所述研磨部件（9）在所述研磨面（10）的面方向上相对移动使所述研磨部件（9）研磨所述被研磨物（4）；以及，多个重量块（5），可以相互层叠地搭载在所述保持部（2）的上表面。根据本实用新型专利技术的研磨装置，能够抑制被研磨物的研磨量的误差。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种研磨装置。
技术介绍
作为半导体密封材料等热固化性树脂的固化物的特性检查的I种，有对固化物中成分的分散状态的检查。作为该检查方法，例如，有如下方法:制作由该固化物制成的规定的直径(例如直径100mm)的圆盘状的试验片，研磨该试验片并观察固化物的表面。此时，为了使所希望的观察面露出，通过研磨所述圆盘状的试验片的表层而予以去除。作为研磨试验片的装置，采用了通过手动使所述试验片旋转而进行研磨的手动台式研磨机。技术解决的课题因此，使用所述研磨装置时，需要用眼睛估量来调节研磨量。研磨后的试验片的厚度，例如和目标值相比会广生0.3-0.4mm左右的误差。
技术实现思路
本技术要解决的课题是，鉴于上述问题而提供一种可以抑制被研磨物的研磨量的误差的研磨装置。本技术提供一种研磨装置，其具有:研磨部件，该研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面；保持部，该保持部具有朝着所述研磨面向下开口的收容部，该保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通过自重将所述被研磨物按压到所述研磨面；移动机构，该移动机构通过使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相对移动而在所述研磨部件上研磨所述被研磨物；以及多个重量块，该多个重量块可相互层叠地搭载在所述保持部的上表面。技术效果:根据本技术，可以提供一种能够抑制被研磨物的研磨量的误差的研磨装置。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的研磨装置的侧面图。图2是表示本实施方式涉及的研磨装置的保持装置的图，图2 Ca)是侧视图，图2(b)是仰视图。图3是表示本实施方式所涉及的研磨装置的图，图3 Ca)是研磨前的截面图，图3(b)是研磨后的扩大截面图。图4是表示本实施方式所涉及的研磨装置的移动机构的俯视图。图5是表示本实施方式所涉及的研磨装置的保持机构的侧视图。图6是表示本实施方式所涉及的研磨装置的保持机构的侧视图。符号说明:I…研磨装置2…保持部3…移动机构4…被研磨物5…重量块6…收容部7…凹部或者凸部8…旋转辊9…研磨部件10…研磨面11…端部12…第I旋转轴13…支撑部14…第2旋转轴15…保持装置16…旋转机构17…圆柱形状部18…轴部19…驱动用驱动器20…凹部或者凸部D…被研磨物的厚度A…力B …力具体实施方式下面，采用附图说明本实施方式。另外，在全部的附图中，同样的构件加了同样的符号，适当省略说明。<研磨装置>图1是表示本实施方式所涉及的研磨装置I的侧视图。如图1所示，本实施方式所涉及的研磨装置I具有:研磨部件9，该研磨部件9研磨被研磨物4并具有平坦研磨面10 ;保持部2，该保持部2保持被研磨物4并且通过自重相对于研磨面10按压被研磨物4 ;移动机构3，该移动机构3通过使保持部2和研磨部件9在研磨面10的面方向上相对移动从而使研磨部件9进行研磨被研磨物4 ;以及多个重量块5，该多个重量块可以在保持部2的上表面相互层叠搭载。保持部2具有朝研磨面10且向下开口的收容部6，在该收容部6中保持被研磨物4。通过采用该研磨装置I来研磨被研磨物4，由此可以抑制被研磨物4的研磨量的误差。通过该研磨装置I研磨被研磨物4时，保持部2的研磨面10侧的端部11与研磨面10接触的时刻即为研磨完成时。因此，由于不需要用眼睛估量来判断研磨量，故可以抑制被研磨物的研磨量的误差(参照图3 (b))。另外，如上所述，研磨装置I具有可以在保持部2的上表面相互层叠地搭载的多个重量块5。通过将该多个重量块5内的任意数量的重量块5搭载在保持部2上，由此，由于可以调节被研磨物4相对于研磨面10的按压力，故可以调节被研磨物4的研磨速度。另外，保持部2的上表面所搭载的重量块5的数量如图1、图5以及图6所示，可以任意地进行变更。越是增加重量块5的数量越能够提高被研磨物4的研磨速度。〈保持装置15>下面，将包含保持部2的装置作为保持装置15来进行说明，该保持部2具有朝研磨面10且向下开口的收容部6。图2是表示本实施方式所涉及的研磨装置I的保持装置，图2 Ca)是侧视图，图2(b)是仰视图。如图2 (a)所示,保持装置15具有保持部2。保持部2具有收容被研磨物4的收容部6。通过将被研磨物4相对于收容部6固定，由此，被研磨物4被收容保持在收容部6内。另外，收容部6的形状没有特别限制，可以列举如图2的(b)所示的圆盘型。通过这样，可以平衡性较好地保持被研磨物4。收容部6的深度(凹部的深度)在收容部6的整个区域上是一定的。另外，收容部6的深度可以根据研磨后的被研磨物4的目标即厚度D适当设定。例如，如上述
技术介绍
的部分所述，在使用由热固化性树脂的固化物形成的试验片作为被研磨物4时，为了使所希望的观察面露出，只要将收容部6的深度设定为能使表层的树脂的研磨不会过分不足的程度即可。另外，收容部6的深度的调整方法可以是变更收容部6的深度本身来进行调整的，也可以是在收容部6上固定调整深度用的辅助部件来进行调整的。另夕卜，使用辅助部件时，首先将调整深度用辅助部件固定在收容部6上，然后将被研磨物4固定在收容部6上。另外，保持部2具有圆柱形状部17。圆柱形状部17是在保持部2中中心轴沿着相对研磨面10垂直相交的方向延伸的圆柱形的部位。该圆柱形状部17的侧周面可以是具有凹凸的形状。例如，通过对圆柱形状部17的侧周面施行滚花加工，可以在圆柱形状部17形成凹凸。这样是为了使后述的移动机构3所具有的旋转辊8可以相对保持部2以充分的摩擦力接触。由此，可以使各旋转辊8随着保持部2的旋转顺畅地旋转，并且使保持部2顺畅地在一定的位置上自转。图3 (a)是表示本实施方式所涉及的研磨装置I的截面图。如图3 Ca)所示，被研磨物4例如接触收容部6的底面部(图1中的上端面)地被收容在收容部6中。另外，也可以将调整收容部6的深度用的辅助部件首先固定在收容部6，然后固定被研磨物4。图3 (b)是表示研磨后的本实施方式所涉及的研磨装置I的扩大截面图。如图3 (b)所示，采用研磨装置I开始被研磨物4的研磨后，在研磨面10和保持部2接触的时刻被研磨物4的研磨完成。即，可以用简便的方法将被研磨物4研磨成一定厚度。此时，被研磨物4 (或者辅助部件和被研磨物4)的厚度D和收容部6的凹部的深度—致。另外，形成保持部2的材料可列举出使用和被研磨物4相比较硬的材料。通过这样，可以抑制利用研磨面10的对保持部2的研磨。保持部2中的研磨面10侧的端部11如图1所示，优选为相对研磨面10平行地形成。通过这样，保持部2相对研磨面10接触后，可以抑制被研磨物4的不均匀的研磨的进行。因此，可以在整体上均匀地研磨被研磨物4。如图1-3所示，重量块5搭载在保持部2的上表面。在保持部2的上表面形成有凹部或者凸部7，在多个重量块5的各自的下表面形成有相对保持部2的凹部或者凸部7进行嵌合的凸部或者凹部20。另外，在多个重量块5的各自的上表面上形成有和形成于保持部2的上表面的凹部或凸部7相同形状的的凹部或凸部20。由此，在研磨被研磨物4时，可以抑制搭载在保持部2上的重量块5的位置相对于保持部2发生偏差的情况。<移动机构>图4是表示本实施方式所涉及的研磨装置I的移动机构3的俯视图。如图4所示,移动机构3具有:参与研磨部件9的自转的旋转机构16 ;以及参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨装置，其特征在于，具有：研磨部件，该研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面；保持部，该保持部具有朝着所述研磨面向下开口的收容部，该保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通过自重将所述被研磨物按压到所述研磨面；移动机构，该移动机构通过使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相对移动而在所述研磨部件上研磨所述被研磨物；以及多个重量块，该多个重量块可相互层叠地搭载在所述保持部的上表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：前田将克，
申请(专利权)人：苏州住友电木有限公司，
类型：实用新型
国别省市：