【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种纳米材料制作的传感器及其制作方法和应用，尤其涉及一种碳化硅纳米材料传感器及其制作方法和应用。
技术介绍
目前广泛使用的湿度传感器有干湿球传感器、毛发传感器等，其中部分湿度传感器已广泛应用于日常生活湿度检测、粮食仓储、工业生产等领域。这些湿度计具有结构简单、性能可靠、成本低廉等优点，但传统湿度计的检测范围较窄，难以检测相对湿度低于10%的湿度环境。因此，使用对环境湿度敏感的微纳米材料制造高灵敏度、快速响应、性能稳定的微纳米材料湿度传感器成为今年的研究热点。包括硅材料、碳材料和金属氧化物等不同于传统湿度敏感材料的研究表明，这些微纳米材料在响应时间、检测极限、耐久性等方面展现了巨大的潜力，但这些新型材料同样存在自身固有的缺陷，如金属氧化物和一些禁带较宽的半导体材料需要在较高的温度下使用，而硅材料、碳材料等在高温氧化性气氛下会迅速失去传感性能，而金属氧化物则会在酸性或碱性环境下发生结构性破坏。因此，开发可在宽温度范围内使用、且具有耐酸碱、抗氧化、抗腐蚀的高性能湿度传感器仍然存在一定难度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一...
【技术保护点】
一种碳化硅纳米纸传感器，其特征在于：所述传感器为电阻型传感器，所述传感器包括基材、碳化硅纳米纸和两个导电电极，所述基材表面覆盖有碳化硅纳米纸，所述导电电极与碳化硅纳米纸紧密结合在基材表面，导电电极之间的间隙连续铺覆有碳化硅纳米纸。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李公义，马军，李义和，胡天娇，彭刚，李效东，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科学技术大学，
类型：发明
国别省市：
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