【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种机械手，特别是涉及一种侧翻式机械手。
技术介绍
目前，侧翻式机械手末端主要采用气缸夹紧、电机经过带轮减速后与旋转轴相连接的结构形式，气缸的初始位置是缩进，卡爪也随之处于退回位置，抓取晶圆片时，卡爪随气缸伸出，夹紧晶圆片，然后电机带动旋转轴一起转动，晶圆由于受到卡爪的夹紧力因而不会掉落。这种结构的缺点是电机传动部分、气动相关部件占用很大空间，而且增加了侧翻式机械手末端的质量，一般在3kg左右，严重影响了手臂运行时的平稳性以及手指的定位精度；同时该结构形式复杂，零部件数量较多，经济性不好。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种通过电机直接驱动旋转轴的侧翻式机械手。一种侧翻式机械手，包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指，所述手指直接固定在旋转轴上，所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴，所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起，所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转轴转动。在一实施方式中，所述旋转轴与转动轴是通过键固定一起。在一实施方式中，所述手指与旋转轴各开设有气路通道，所述手指的气路通道与所述旋转轴的气路通道气路连接，且所述旋转...
【技术保护点】
一种侧翻式机械手，包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指，其特征在于：所述手指直接固定在旋转轴上，所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴，所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起，所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转轴转动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐方，曲道奎，李学威，周道，温燕修，何书龙，郑鋆，王鲁非，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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