一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件制造技术

一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，它包括：圆形绝缘板(3)、O形圈(4)、O形圈(5)以及连接螺钉(8)，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I(14)，密封槽II(15)，密封槽内分别设有O形圈(4)、O形圈(5)，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面II(16)、炉体的电极孔的台面台面I(10)一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔(12)，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔(13)，通孔中穿有螺钉(8)，螺钉(8)外围设有绝缘套(6)以及绝缘垫片(7)。本实用新型专利技术优点是：组件简便，且密封面在炉体外不存在高温问题，使用寿命长，不需经常更换。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空设备电极密封，特别是一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件技术背景蓝宝石晶体炉为高真空设备，在晶体生长过程中，炉内加热器同过铜电极与炉外供电系统连接，为保证炉内真空度，炉体需要与电极之间进行密封，同时需要保证炉体与电极之间为绝缘状态。一般电极密封结构采用多道胶木环与橡胶0形圈密封，该结构有以下几个缺点:首先胶木部分位于炉内，受炉内高温烘烤容易变形开裂，导致密封实效，需要定期更换；其次电极密封是通过电极侧壁与电极孔内壁之间放置密封圈，密封圈受胶木挤压变形来实现的，由于过电极侧壁与电极孔内壁之间存在0形圈，两者为弹性接触，受力后会产生形变，因此不能很好保证电极与炉体的垂直度，以至于影响内部加热器的放置。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，该组件结构简单，使用方便，采用本组件后，密封面在炉体外不存在高温问题，因此使用寿命长，不需经常更换，同时能够保证电极与炉体的垂直度。为达到上述专利技术目的，本技术采用以下技术方案:这种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，它包括圆形绝缘板、0形圈、0形圈以及连接螺钉，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I，密本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，其特征在于：它包括圆形绝缘板(3)、O形圈(4)、O形圈(5)以及连接螺钉(8)，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I(14)，密封槽II(15)，密封槽内分别设有O形圈(4)、O形圈(5)，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面II(16)、炉体的电极孔的台面台面I(10)一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔(12)，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔(13)，通孔中穿有螺钉(8)，螺钉(8)外围设有绝缘套(6)以及绝缘垫片(7)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李楠，黎建明，刘春雷，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，有研光电新材料有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：