磨削和抛光机床及用该机床磨削和抛光圆盘的方法和设备技术

磨削或抛光机床有刚性平台，工作台主轴和砂轮主轴安装在该平台上。其中，砂轮主轴装在部件上，该部件上通过挠性件安装在平台上，挠性件允许该部件在通常平行于砂轮前移的方向上作有限的运动，砂轮前移以对装在工件主轴上的工件进行磨削或抛光。挠性件通常禁止该组件在所有其它方向上的运动。两个砂轮装在平台上，此两个砂轮分别装在两个部件上。每个部件通过上述挠性件安装在平台上。挠性件安装处通常位于机床的中央，在机床中心线的两侧并靠近机床中心线。具有装在部件上的工件方轴装置、刀具主轴装置的磨削或抛光机床，允许两个部件在实现刀具和工件接触的一个方向上作有限的相对运动并通过凸轮驱动装置使部件运动以使每个刀具主轴向前靠近工件主轴或后退远离工件主轴。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磨削和抛光机床以及磨削和抛光圆盘的方法，该圆盘用在半导体装置结构中的硅圆片以及玻璃或其它脆性材料的圆盘，磁性材料可覆在其上从形成用于计算机磁盘驱动器和类似装置的存储磁盘。本专利技术的背景当磨削上述任一用途的圆盘时，圆盘外经应加工成高精度的并常常是特殊的横截面形状是很重要的。对于存储磁盘，也要精确控削其盘圆孔的直径和圆度。对于硅圆片，后面加工工序中的对准需要对准装置，以完成圆盘周缘的成形例如平周缘和凹口周缘。传统的周缘磨削和抛光机体的所有轴线均为直线导轨。当磨削和抛光脆性材料时，无论是装有循环滚动元件的支承还是空气支承，所有这样的轴线共有常见的失效，即这些轴线允许砂轮和零件间较大相对运动。因而需要砂轮的正交运动，其通常由一线性轴线叠在另一轴线上而获得此运动需要硬的耐磨砂轮以将由于砂轮磨损而造成的成形损失减至最小，但这样的砂轮会磨削出有深度损伤的劣质表面。当磨削硅圆片时，磨削时造成的表面下损伤的深度应在后续加工工序中减至最小，圆片交货时必须是零损伤。当表面下损伤已造成时，就意味着磨削后要进行酸洗及抛光。这两个工艺均很昂贵，损伤越小所需的抛光时间就越短。本专利技术特点的本文档来自技高网...

【技术保护点】
磨削或抛光机床包括一个刚性平台，工作台主轴和砂轮主轴安装在该平台上，其中，砂轮主轴装在部件上，该部件通过挠性件安装在平台上，挠性件允许该部件在通常平行于砂轮前移的方向上作有限的运动，以便对装在工作台主轴上的工件进行磨削或抛光，挠性件通常禁止该部件在所有其它方向上的运动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：MA斯托克，DR福克纳，PMH莫兰茨，MG皮尔塞，
申请(专利权)人：尤诺瓦英国有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]