流量控制机构以及具有该流量控制机构的气相色谱仪制造技术

本发明专利技术涉及一种流量控制机构以及具有该流量控制机构的气相色谱仪，其能够降低流量控制机构中的气体向外部泄漏或来自外部的不纯物的混入的可能性。试料气化室（4）上连接有载气流路（10）、净化气体流路（12）以及分离气体流路（14）的一端。载气流路（10）、净化气体流路（12）以及分离气体流路（14）的另一端分别连接作为流量控制机构的载气流量控制部件（24）、净化气体流量控制部件（38）以及分离气体流量控制部件（52）。载气流量控制部件（24）、净化气体流量控制部件（38）以及分离气体流量控制部件（52）构成流量控制部（1）。

【技术实现步骤摘要】
流量控制机构以及具有该流量控制机构的气相色谱仪
本专利技术涉及介于气体供给源与将气体导至既定部位的气体管道之间并控制气体流量的流量控制机构以及具有该流量控制机构的气相色谱仪。
技术介绍
气相色谱仪包括分析柱、用来将试料导至分析柱的试料导入流路、用来将试料注入试料导入流路的试料注入部、用来将载气供给到试料注入部的载气供给部以及检测部（例如参照专利文献1）。试料从试料导入部注入，通过由载气供给部供给的载气被运送到分析柱，由分析柱进行分离，其成分由设于分析柱后级的检测器所检测。这样的气相色谱仪中，为了调整来自高压储气瓶的载气供给量，利用了流量控制器（流量控制装置），所述流量控制器是在内部设有流路的流路基板上搭载流量控制阀、压力传感器、流量传感器等设备的流量控制机构。用图5来说明以往的气相色谱仪的流路构成。在设于流量控制部160上的配管连接部116上，连接有载气流路110、净化气体流路112及分离气体流路114的一端。载气流路110、净化气体流路112及分离气体流路114的另一端连接到试料导入部102上。载气流路110是用于将载气导入试料导入部102的配管，净化气体流路112是用于排出净化试料导入部102的内部用的净化气体的配管，分离气体流路114是用于排出未导入分析柱106的试料和载气的配管。另外，就利用载气的一部分作为净化气体。流量控制部160具有流路118、120以及122，这些流路118、120以及122的一端连接到配管连接部116。流路118、120以及122的另一端分别连接到配管连接部126、140以及154上。配管连接部126上连接通到用于供给载气的高压储气瓶的配管，配管连接部140上连接用于向外部排出净化气体的配管，配管连接部154上连接用于向外部排出分离气体的配管。流路118上，从配管连接部126侧依次设置压力传感器134、流量传感器135以及流量控制阀128。流路120上，从配管连接部140侧依次设置压力传感器148、流量控制阀142以及压力传感器150。流路122上设置流量控制阀156。如图6所示，流量控制部160能够利用内部形成有流路的流路基板161来构成。图6的例中，流路基板161的内部具有流路118、120以及122，在表面上设有通到各流路的孔，在孔的位置上有连接部件，通过连接部件分别安装配管连接部、压力传感器、流量传感器、以及流量控制阀等。为保持各要素的流路连接部分的气密性，用氟橡胶等制成的O型圈加以密封。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-19165号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如上所述，以往的气相色谱仪的气体流量控制机构因流路连接配管连接部、压力传感器、流量传感器、流量控制阀、及连接部件等多个构成要素，所以流路的连接部多。虽然构成部件与流路之间的连接部用氟橡胶等制成的O型圈来保持气密性，但存在内部气体从这些连接部泄漏或外部空气和不纯物混入流路内部的可能性。即使是微量的外部空气或不纯物混入气相色谱仪的流路内的话，就有可能对气相色谱仪的分析结果带来影响。流路连接的构成部件越多，这种危险性就越高。因此，本专利技术的目的在于降低在控制气体的流量的流量控制机构中的气体向外部的泄漏或从外部混入不纯物的可能性。解决课题的手段本专利技术的流量控制机构，由一个一体化而成的部件所构成，所述部件将下述各部分做成一体：用于连接供给气体的气体供给源的第一连接部；用于连接气体流路的第二连接部，所述气体流路用于将来自所述气体供给源的气体导至既定部位；连接所述第一连接部与所述第二连接部之间的内部流路；以及流量控制阀，所述流量控制阀通过调整所述内部流路的流路宽度来控制流过所述第一连接部与所述第二连接部之间的气体的流量。以往，为构成控制从气体供给源至气体流路的气体供给量的流量控制机构，必须进行气体供给源-连接部件-流路-连接部件-流量控制阀-连接部件-流路-气体流路这样的连接。因此，使用O型圈等的密封部件的流路连接部分很多。与之相对，本专利技术的流量控制机构由一个一体化而成的部件所构成，所述部件将下述各部分做成一体：用于连接气体供给源的第一连接部，用于连接气体流路的第二连接部，连接第一连接部与第二连接部之间的内部流路，以及控制流过第一连接部与第二连接部之间的气体流量的流量控制阀。因此，能以载气供给部-流量控制部件-气体流路这样的简单构成来实现控制从气体供给源至气体流路的气体的供给量的流量控制机构，能大幅减少使用O型圈等的密封部件的流路连接部分。本专利技术的第一种气相色谱仪，具有：用于分离试料的分析柱；用于检测由所述分析柱分离后的试料的检测器；用于将试料导入所述分析柱的试料导入流路；用于将试料注入所述试料导入流路的试料注入部；以及将载气供给到所述试料注入部的载气供给部，所述载气用于将由所述试料注入部注入的试料运送至所述分析柱，其中，在所述载气供给部的通到所述试料注入部的流路与载气供给源之间设有本专利技术的流量控制机构。因为由一个部件构成控制载气流量的流量控制机构，所以用O型圈来密封的流路连接部分大幅减少。本专利技术的第二种气相色谱仪，其中，本专利技术的流量控制机构介于检测器气体供给部的通到检测器的流路与检测器气体供给源之间，所述检测器气体供给部用于向检测器供给检测器气体。与上述第一种气相色谱仪的控制载气的供给量的流量控制机构一样，因为由一个部件构成控制检测器气体的供给量的流量控制机构，所以用O型圈来密封的流路连接部分大幅减少。专利技术效果本专利技术的流量控制机构中，因为由一个一体化而成的部件所构成，所述部件将用于连接气体供给源的第一连接部、用于连接气体流路的第二连接部、连接第一连接部与第二连接部之间的内部流路、以及控制流过第一连接部与第二连接部之间的气体流量的流量控制阀做成一体，因此，能以载气供给部-流量控制部件-气体流路这样的简单的流路构成控制从气体供给源至气体流路的气体的供给量的流量控制机构，能大幅减少使用O型圈等的密封部件的流路连接部分。因此，能降低流量控制机构中的气体向外部泄漏或来自外部的气体或不纯物混入的危险性。附图说明图1是示出气相色谱仪的一实施例的流路构成图。图2是示出流量控制部的各流量控制部件结构的一例的图，（A）是主视剖面图，（B）是（A）的W-W位置的剖面图，（C）是（A）的X-X位置、Y-Y位置及Z-Z位置的剖面图。图3是示出试料导入部以及试料气化室的结构的一例的剖面图。图4是示出检测器气体的流量控制部的一实施例的流路构成图。图5是示出以往的气相色谱仪的一例的流路构成图。图6是示出利用以往的气相色谱仪的流路基板的流量控制机构的一例的俯视图。符号说明1流量控制机构2试料注入部4试料气化室5试料导入流路6分析柱7检测流路8检测器10载气流路12净化气体流路14分离气体流路24载气流量控制部件26、27、40、41、54、55配管连接部28、42、56流量控制阀30、32、44、46、58、60流路（部件内）34、48、50压力传感器36差压传感器具体实施方式本专利技术的优选的实施例中，部件内进一步具有传感器连接流路，所述传感器连接流路的一端通到内部流路，用于将压力传感器连接到内部流路。以往，在将压力传感器连接到气体流过的流路的情况中，必须通过连接部件将压力传感器连接到气体流过的流路上，因此又增加了使用O型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量控制机构，其特征在于，由一个一体化而成的部件所构成，所述部件将下述各部分做成一体：用于连接供给气体的气体供给源的第一连接部；用于连接气体流路的第二连接部，所述气体流路用于将来自所述气体供给源的气体导至既定部位；连接所述第一连接部与所述第二连接部之间的内部流路；以及流量控制阀，所述流量控制阀通过调整所述内部流路的流路宽度来控制流过所述第一连接部与所述第二连接部之间的气体的流量。

【技术特征摘要】
2011.12.13 JP 2011-2718471.一种气相色谱仪，具有：用于分离试料的分析柱；用于检测由所述分析柱分离后的试料的检测器；用于将试料导入所述分析柱的试料导入流路；用于将试料注入所述试料导入流路的试料注入部；以及将载气供给到所述试料注入部的载气供给部，所述载气的一部分用于将由所述试料注入部注入的试料运送至所述分析柱，所述载气的剩余部分作为净化气体通过净化气体流路向外部排出，用于运送试料的载气的一部分通过所述试料导入流路被导入所述分析柱，用于运送试料的载气的剩余部分作为分离气体通过分离气体流路向外部排出，所述气相色谱仪的特征在于，在所述载气供给部的通到所述试料注入部的流路与载气供给源之间设有载气流量控制部件，在所述试料注入部的通往外部的所述净化气体流路上设有净化气体流量控制部件，在所述试料注入部的通往外部的所述分离气体流路上设有分离气体流量控制部件，所述载气流量控制部件、所述净化气体流量控制部件以及所述分离气体流量控制部件分别由一个一...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺井靖典，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：