X射线检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种能以简单的操作可靠地得到所需区域的全景透视图像的X射线检查装置。该X射线检查装置具有合成多个局部图像而得到全景透视图像功能，且设置有对载物台3上的被检查物W进行拍摄的光学照相机(5)，该光学照相机(5)所拍摄的被检查物W的外观图像在显示器(15)中显示，该外观图像上，用框来指定所需的全景透视图像的区域，自动地驱动使载物台(3)、X射线发生装置(1)以及X射线检测器(2)的相对位置移动的移动机构，在设定为规定的透视倍率的基础上，对所指定的框内的区域依次进行拍摄，获取多个局部图像，并将这些局部图像合成从而构筑出所指定的区域的全景透视图像，由此，使全景透视图像拍摄的设定操作变得容易。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种X射线检查装置，该装置利用对各种工业制品等被检查物照射X射线所得到的X射线图像，在不破坏的基础上对被检查物的内部有无缺陷进行检查。
技术介绍
在不破坏的基础上对各种工业制品的内部有无缺陷进行检查的X射线检查装置，一般地，具有在X射线发生装置和X射线检测器之间配置装载被检查物的载物台的结构，通常载物台能够在包括X射线光轴方向(X射线发生装置与X射线检测器的连接方向)的三维方向移动。通过使该载物台向X射线光轴方向移动来改变透视倍率，通过使得载物台在与之相垂直的平面上移动，可以使得视野中心也发生变化。还有取代载物台、或者使得X射线发生装置和X射线检测器与载物台一起移动的装置。关于在电路基板上装有的零部件、焊球等的检查所用的X射线检查装置，通常是对作为被检查物的电路基板上的细微部进行放大透视来进行观察。因此，存在着难以判断正在透视的部位是被检查物上的什么部位的问题。作为这样的问题的对策，以前，已知有以下这样的技术，即，以较低的倍率，从而以较广视野来拍摄被检查物的透视图像，并将其储存，该透视图像被显示在显示器中，通过指定透视图像上应该被放大透视的位置及大小，使载物台自动移动以显示放大图像的技术。(例如参考专利文献I)另外，关于用于这种用途的X射线检查装置，由于采用了以获得高放大率的透视图像为目的的装置结构，使得电路基板等被检查物的整体的X射线透视图像无法获得，因此，还已知有以下这样的技术，即，设置对载物台上的被检查物进行拍摄的光学照相机，用该光学照相机从与X射线的透视方向大致相同的方向进行拍摄，如地图那样使用该外观图像，在该外观图像上重叠显示每时每刻的透视位置，或者在该外观图像上指定应该被放大显示的位置及大小，由此使得载物台自动移动并显示放大透视图像的技术。(例如参考专利文献2)再者，对于X射线检查装置，在原理上，不能够以比检测器尺寸大的视野尺寸显示X射线透视图像，因此还已知有具有所谓全景功能的装置，即，为了要取得广视野的X射线透视图像，使载物台移动的同时拍摄多张透视图像，将这些图像拼接起来组成I张广视野图像的装置。(例如参考专利文献3)[现有技术文献][专利文献]专利文献I日本专利特开2001-255286号公报专利文献2日本专利特开2006-343193号公报专利文献3日本专利特开2004-037386号公报
技术实现思路
[专利技术所解决的课题]但是，拼接多幅X射线透视图像而得到I张广视野透视图像的具有全景功能的装置中，已知有在获得被检查物的整体图像的时候也像专利文献3中所记载的技术一样，自动检测被检查物的边缘，并对局部图像进行拍摄的功能，但是在获得被检查物的一部分的广视野透视图像，指定拍摄范围的操作往往比较复杂。例如，存在着以下这样的问题:虽然对从现在的位置开始在纵横方向上分别拍摄几幅图像进行设定的方法已被实际应用，但是在这样的情况下，难以直观地把握对什么样的范围进行拍摄。本专利技术是鉴于这样的问题而做出的专利技术，本专利技术正是以提供一种能够通过简单的操作可靠地获得所需区域的全景透视图像的X射线检查装置为课题。为了解决上述课题，本专利技术中的X射线检查装置，其在相互相对配置的X射线发生装置和X射线检测器之间设有搭载被检查物的载物台，且具有移动机构和显示器，所述移动机构使得该载物台、X射线发生装置以及X射线检测器在包含X射线光轴方向的三维方向上相对移动，所述显示器将在基于所述载物台的相对位置的拍摄倍率和拍摄视野下所拍摄的被检查物的X射线透视图像显示于显示器，所述X射线检查装置的特征在于，包括:全景图像合成单元，其合成通过数次拍摄而得到的多个局部透视图像，由此合成比该X射线检查装置的最低倍率时的图像的视野广的区域的透视图像；光学照相机，其拍摄所述载物台上的被检查物；外观图像显示单元，其显示所述光学照相机所拍摄的被检查物的外观图像；全景拍摄区域指定单元，其利用框在该外观图像上指定应通过所述全景图像合成装置合成的区域；和局部图像自动拍摄单元，其在有了该全景拍摄区域指定单元的指定时，自动地驱动所述移动机构，在将拍摄倍率设定为规定倍率的状态下，对所指定的框内的区域依次进行拍摄，并将所拍摄的图像作为局部图像提供给所述全景图像合成装置(技术方案I)。在这里，本专利技术的X射线检查装置中，优选采用以下的构成(技术方案2)，其还包括:透视区域指定单元，其用框在所述外观图像显示单元所显示的被检查物的外观图像上指定该X射线检查装置能够设定的拍摄倍率的范围内的区域作为透视区域；透视视野自动设定单元，其在有了所述透视区域指定单元的指定时，自动地对所述移动机构进行定位，以使得所指定的框内的区域和透视区域一致；和判断单元，其根据在所述外观图像上指定的框的大小，判断该指定的框为全景拍摄区域指定单元的指定还是透视区域指定单元的指定。本专利技术是将光学照相机所摄的被检查物的外观图像用作地图，并在该外观图像上，通过用框来指定想要全景拍摄的区域，操作者能够直观地把握所获得的全景透视图像的范围。S卩，在显示器中显示用光学照相机所摄的被检查物的外观图像，在该外观图像上指定框，由此在将拍摄倍率设为规定倍率(通常为最低倍率。但是并不限于最低倍率)的基础上,驱动移动机构,并按照规定的拍摄倍率自动地拍摄局部图像，以覆盖该框内的区域。另外，技术方案2所涉及的专利技术，对于全景拍摄功能以外的通常拍摄，即该装置能够设定的拍摄倍率的范围的拍摄，设置有在外观图像上用框指定的透视区域指定单元，且在有了框的指定时，根据框的大小自动地判断该指定是全景拍摄区域的指定，还是仅仅透视区域的指定，并根据基于判断结果的动作控制驱动移动机构。因此，操作者不需要指定是全景拍摄还是放大透视等。[专利技术的效果]根据本专利技术，在要获得一次透视或者拍摄无法得到的较广区域的全景透视图像时，仅仅通过在被检查物的外观图像上用框来指定就能自动地过渡到局部图像的拍摄动作，因此操作者不需如从前一样进行设定用于局部图像拍摄的初始位置、或者设定纵横方向上的拍摄图像数等的操作，在操作变得更加简略的同时，还能够直观把握应进行全景拍摄的区域。另外，如技术方案2所涉及的专利技术那样，在一并具有在被检查物的外观图像上利用框指定放大的透视图像等的透视区域的功能的情况下，根据外观图像上所指定的框的大小自动判断是全景拍摄还是扩大透视，并根据判断结果执行动作，采用这样的构成的话，仅仅通过设定框就能够自动地执行所需动作，因此操作者的设定操作变得更加简便。附图说明图1是本专利技术的实施形态的构成图。图2是示出根据本专利技术的实施形态的透视观察的视野指定和全景透视图像的拍摄范围的指定，以及基于该指定的装置动作的流程图。图3示出在根据本专利技术的实施形态进行通常的透视观察的情况下在外观图像上指定框的实例(A)和通过该指定所得的透视图像的实例(B)。图4示出在根据本专利技术的实施形态获取全景透视图像的情况下在外观图像上指定框的实例(A)和通过该指定所得的全景透视图像的实例(B)。[符号的说明]IX射线发生装置2X射线检测器 3载物台4移动机构5光学照相机10，12 图像数据获取电路11透视图像存储部13外观图像存储部14 显示控制部15显不器16控制部17操作部18图像合成部C外观图像f, F 框。具体实施例方式以下，参考附图对本专利技术的实施形态进行说明。图1为本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线检查装置，其在相互相对配置的X射线发生装置和X射线检测器之间设有搭载被检查物的载物台，且具有移动机构和显示器，所述移动机构使得该载物台、X射线发生装置以及X射线检测器在包含X射线光轴方向的三维方向上相对移动，所述显示器将在基于所述载物台的相对位置的拍摄倍率和拍摄视野下所拍摄的被检查物的X射线透视图像显示于显示器，所述X射线检查装置的特征在于，包括：全景图像合成单元，其合成通过数次拍摄而得到的多个局部透视图像，由此合成比该X射线检查装置的最低倍率时的图像的视野广的区域的透视图像；光学照相机，其拍摄所述载物台上的被检查物；外观图像显示单元，其显示所述光学照相机所拍摄的被检查物的外观图像；全景拍摄区域指定单元，其利用框在该外观图像上指定应通过所述全景图像合成装置合成的区域；和局部图像自动拍摄单元，其在有了该全景拍摄区域指定单元的指定时，自动地驱动所述移动机构，在将拍摄倍率设定为规定倍率的状态下，对所指定的框内的区域依次进行拍摄，并将所拍摄的图像作为局部图像提供给所述全景图像合成装置。

【技术特征摘要】
1.一种X射线检查装置，其在相互相对配置的X射线发生装置和X射线检测器之间设有搭载被检查物的载物台，且具有移动机构和显示器，所述移动机构使得该载物台、X射线发生装置以及X射线检测器在包含X射线光轴方向的三维方向上相对移动，所述显示器将在基于所述载物台的相对位置的拍摄倍率和拍摄视野下所拍摄的被检查物的X射线透视图像显示于显示器， 所述X射线检查装置的特征在于，包括: 全景图像合成单元，其合成通过数次拍摄而得到的多个局部透视图像，由此合成比该X射线检查装置的最低倍率时的图像的视野广的区域的透视图像； 光学照相机，其拍摄所述载物台上的被检查物； 外观图像显示单元，其显示所述光学照相机所拍摄的被检查物的外观图像； 全景拍摄区域指定单元，其利用框在该外观图像上指定应通过所述全景图...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩尾快彦，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：