【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种扫描探针显微镜和程序。
技术介绍
1、在日本特开2000-275159号公报(专利文献1)中公开了一种在悬臂的前端设置探针并使探针接近试样来获取试样表面的信息的扫描探针显微镜(spm：scanning probemicroscope)。该扫描探针显微镜基于所获取到的信息来生成图像数据，基于该图像数据来显示试样表面的观察图像。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2000-275159号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、在试样表面的观察对象区域比扫描探针显微镜的观察视场(扫描范围)范围大的情况下，进行以下处理：将观察对象区域分成多个区域，按每个区域观察其表面形状。在该情况下，为了获取与多个区域分别对应的多个图像数据，需要按每个图像数据设定试样表面的扫描范围。具体地说，为了在观察对象区域内排列配置多个扫描范围，用户需要进行对各扫描范围进行定位的作业、以及设定为了从一个扫描范围向其它扫描范围转移而使用于载置试样的试样台移动的量的作业。于是，担忧用户的作业的负担会随着所获取的图像数据的数量增加而增大。
3、本公开是为了解决这样的问题而完成的，其目的在于在通过在试样的观察对象区域内进行扫描来获取表示该观察对象区域的表面形状的多个图像数据的扫描探针显微镜中减轻用户的作业负担。
4、用于解决问题的方案
5、本公开的一个方式所涉及的扫描探针显微镜具备：探针，其与试样
6、专利技术的效果
7、根据本公开，能够在通过对试样的观察对象区域内进行扫描来获取表示该观察对象区域的表面形状的多个图像数据的扫描探针显微镜中减轻用户的作业负担。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种扫描探针显微镜，具备：
2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，
3.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的扫描探针显微镜，其中，
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的扫描探针显微镜，其中，
6.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中，
7.一种程序，用于使用具有根据权利要求1～6中的任一项所述的数据处理部的计算机来获取所述试样的所述观察对象区域的所述观察图像。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种扫描探针显微镜，具备：
2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，
3.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中，
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的扫描探针显微镜，其中，
5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：新井浩，中岛秀郎，森口志穗，中野智阳，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：
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