研磨机和研磨工件的方法技术

一种研磨机，它包括：　　　　转动以研磨一工件的一上表面的一上研磨板，所述上研磨板具有多个用于将研磨料进给到工件的研磨料孔；　　　　转动以研磨工件的一下表面的一下研磨板，所述下研磨板与所述上研磨板一起将工件夹在其间，以研磨工件的两个表面；　　　　加压并发送研磨料的一研磨料进给单元；　　　　将诸研磨料孔分别连接至所述研磨料供应单元的多根研磨料通道；　　　　分别设置在诸所述研磨料通道上以对研磨料流量进行控制的多个阀机构；以及　　　　用于控制诸所述阀机构的一控制部分。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及研磨器具和研磨工件的方法，更精确地说，是涉及具有用于研磨一工件的两个面的一上研磨板和一下研磨板的研磨机，以及使用所述研磨机研磨一工件的方法。
技术介绍
在传统的、具有一上研磨板和一下研磨板的研磨机中，工件被夹在两研磨板之间，并且两研磨板以相反的方向转动且向工件供给研磨料(slurry)，以使工件的两个面都可以被研磨。在图5中示出了传统的研磨机(参见日本专利公告第11-262862号)。该研磨机包括一上研磨板10和一下研磨板12，它们以相反的方向转动；一中心齿轮14；一内齿轮16；以及多个托架18。诸托架18设置在两研磨板10和12之间，并且沿着各托架18的外边缘形成与中心齿轮14和内齿轮16接合的一齿轮(未示出)。有着这样的结构，诸托架18能绕其自己的轴线旋转并沿着内齿轮16运行。通过转动两研磨板10和12，两研磨板10和12就对分别保持在托架18的通孔中的诸工件20的上表面和下表面进行研磨。下研磨板12由一下保持件22保持，下保持件22由一基座24可转动地支承。下保持件22由一转动轴22a转动，以使下研磨板12转动。上研磨板10由一传动轴26以及接合件28和29转动。中心齿轮14由一转动轴30转动。一壳体32支承内齿轮16。在图5中所示的研磨机中，在上研磨板10的上方设置一板40，并且在板40上设置截面形状是U形的一研磨料圈42，并且多根连接管44和连接管46连接至研磨料圈42，以使研磨料圈42与形成在上研磨板10中的研磨料孔48连通。在诸连接管46上分别设置用于控制流量的阀50。板40沿着一个方向与上研磨板10一起转动，供应到研磨料圈42的研磨料经由连接管44、连接管46以及研磨料孔48被供给到工件20。阀50对供给到研磨料孔48的研磨料加以调节。例如，许多研磨料被进给到上研磨板10中心附近的诸研磨料孔48。在传统的研磨机中，研磨料是通过调节供应到上研磨板10的诸研磨料孔48的研磨料量来向工件20均匀地进给研磨料的。但，如图5所示，研磨料在重力或其自身重量的作用下从研磨料圈42向下流动。因此，由于必须正确地选择诸研磨料孔48并必须精确地控制研磨料流量，所以难于控制研磨料的量。在研磨机中，当更换工件20、进行保养等时，上研磨板10向上抬起或移动直至达到一最高的位置。此时，附着在上研磨板10的一研磨面上的一些工件20与上研磨板10一起被抬升。如果工件20与上研磨板10一起抬升，工件20就会从其上落下，并且它们被损坏。目前，工件20大且薄，所以它们易于附着在上研磨板10上。尤其是，在能自动进给和卸下工件的研磨机中，必须防止工件附着到上研磨板上。为了解决工件附着到上研磨板上的问题，人们已经提出了一些方法。例如，从上研磨板向工件喷射一流体薄雾(参见日本专利公告第11-226864号)；在上研磨板中形成诸喷射孔，并且从诸喷射孔向工件喷射高压空气，以剥离工件(参见日本专利公告第9-66448号)；致动通常位于离开上研磨板的位置的一喷射件，以机械地将工件从上研磨板上喷射下来(参见日本专利公告第6-55436号)；从上研磨板喷出例如压缩空气之类的一压缩流体，以剥离工件(参见日本专利公告第58-171825)。但是，即使在上研磨板中形成了用于喷射一加压流体的诸喷射孔以剥离工件，喷射孔也是与研磨料孔分开的。因此，如果研磨料孔的布置优先于喷射孔的布置，那么喷射孔的布置受到限制，以致喷射孔不能设置在理想的位置。此外，在能够研磨各种工件的研磨机中，由于诸喷射孔的位置是固定的，所以它们无法总是位于理想的位置。
技术实现思路
已经专利技术出本专利技术来解决传统研磨机的上述问题。本专利技术的一个目的是提供一种研磨机，它能够根据工件的布置来进给适当量的研磨料以精确地研磨工件，并且防止工件附着在上研磨板上以便自动地进给和卸下工件。本专利技术的另一个目的是提供一种用本专利技术的研磨机来研磨工件的方法。为了实现本专利技术的目的，本专利技术具有以下的结构。本专利技术的研磨机包括转动以研磨一工件的一上表面的一上研磨板，它具有多个用于将研磨料进给到工件的研磨料孔；转动以研磨工件的一下表面的一下研磨板，它与上研磨板一起将工件夹在其间，以研磨工件的两个表面；加压并发送研磨料的一研磨料进给单元；将诸研磨料孔分别连接至研磨料供应单元的多根研磨料通道；分别设置在诸研磨料通道上以对研磨料流量进行控制的多个阀机构；以及用于控制诸阀机构的一控制部分。在该研磨机中，控制部分可以控制诸阀机构的打开度，以控制对各研磨料孔的研磨料进给。在该研磨机中，研磨料进给单元可以是一能以恒定的压力进给研磨料的加压单元，该加压单元可以通过一分配器连接到诸研磨料孔，以及诸阀机构可以是电磁阀。该研磨机还可包括一具有一通孔的托架，工件设置在所述通孔中以便研磨工件的两个表面，托架设置在上研磨板和下研磨板之间；保持托架的一外边缘的一托架保持件；以及用于沿轨道运行托架保持件的一曲轴机构。该研磨机还可包括；连接至上研磨板的一轴；用于转动该轴的一转动机构；以及设置在轴中的一研磨料进给管，其中，诸研磨料通道是将诸研磨料孔分别连接至研磨料进给管的多根连接管。在该研磨机中，轴可包括用于进给用来冷却上研磨板的水的一水通道。该研磨机还可包括一具有一通孔的托架，工件设置在所述通孔中以便研磨工件的两个表面，托架设置在上研磨板和下研磨板之间；一与托架的一外边缘啮合的中心齿轮；以及一与托架的外边缘啮合的内齿轮，其中，托架沿着内齿轮转动和运行。该研磨机还可包括设置于上研磨板的一支承板，该支承板支承一分配器；以及分别将诸研磨料孔连接至分配器的多根连接管。本专利技术的方法是一种在一机器中研磨工件的方法，该机器包括转动以研磨一工件的一上表面的一上研磨板，它具有多个用于将研磨料进给到工件的研磨料孔；转动以研磨工件的一下表面的一下研磨板，它与上研磨板一起将工件夹在其间，以研磨工件的两个表面；加压并发送研磨料的一研磨料进给单元；将诸研磨料孔分别连接至研磨料供应单元的多根研磨料通道；分别设置在诸研磨料通道上以对研磨料流量进行控制的多个阀机构；以及用于控制诸阀机构的一控制部分，该控制部分对诸阀机构进行控制，以在研磨机研磨工件的同时控制从研磨料进给单元进给到各研磨料孔的研磨料量。在该方法中，控制部分可经由选择的研磨料孔来进给研磨料，以在上研磨板移动离开下研磨板时通过液体压力来将工件从上研磨板上卸下。通过采用本专利技术的研磨机和方法，可以适当地对工件进给研磨料，以能精确地研磨工件。由于控制部分对诸研磨料通道的阀机构加以控制，所以经由各研磨料孔进给的研磨料量可以控制成使各种类型的工件能被适当地研磨。此外，可以从研磨料孔向工件喷射研磨料，以使工件能可靠地从上研磨板上卸下。因此，可以防止上研磨板向上移动时的工件损坏，并改进该研磨机的可靠性。附图简述现在将以示例的方式并参照附图对本专利技术的实施例进行描述，在这些附图中附图说明图1是根据本专利技术一第一实施例的研磨机的剖视图；图2是形成在第一实施例的上研磨板中的诸研磨料孔的一布置的说明图；图3是一第二实施例的研磨机的剖视图；图4是示出形成在第二实施例的上研磨板中的诸研磨料孔的一布置的说明图；以及图5是传统的研磨机的剖视图。具体实施例方式现在将参照附图对本专利技术的较佳实施例进行详细描述。图1是一第一实施例的研磨机的主要部分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋纪彦，
申请(专利权)人：不二越机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：