液滴喷头、图像形成装置及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液滴喷头、图像形成装置及成膜装置。本发明专利技术的液滴喷头具有振动板、固定板及压电元件。上述压电元件包括第一电极、第二电极、被上述第一电极与上述第二电极夹持的压电体层。上述压电元件的第一端面的至少一部分与上述振动板相接，上述第一端面包括上述第二电极的第一端部与上述压电体层的第一端部。上述压电元件的第二端面的至少一部分与上述固定板相接，上述第二端面包括上述第二电极的第二端部与上述压电体层的第二端部。上述振动板与上述第二电极的第一端部相接，上述压电体层的第二端部的至少一部分介于上述固定板与上述第二电极的第二端部之间。因此，可以提高压电元件的形状的均匀性，并可以提高液体材料的喷出精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷头、图像形成装置及成膜装置。
技术介绍
随着喷墨技术的工业应用化的进展，例如为了形成更微细的布线等，要求能喷出更微小的液滴的液滴喷头。为了实现所喷出的液滴的微小化，需要使用执行机构，该执行机构可以用高频信号驱动，且可以确保所需要的位移量(例如参照专利文献I)。为了实现该愿望，利用例如压电元件的d33方向的位移是有效的。在专利文献I中，通过在单个电极与固定板的接合侧部分设置切口部分而防止固定板侧的短路，但在使用具有导电性的振动板时，在振动板侧会产生短路。再有，若在压电元件的一部分设置切口部分，则有发挥电致伸缩作用时的形状不均的可能性。专利文献I特开2003-92437号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，使本专利技术涉及的液滴喷头、图像形成装置及成膜装置可以提高压电元件形状的均匀性，并可以提高液体材料的喷出精度。 本专利技术涉及的液滴喷头具有:振动板；固定板；和压电元件，上述压电元件包括:第一电极；第二电极；被上述第一电极与上述第二电极夹持的压电体层；在上述第一电极与上述第二电极之间从上述第一电极开始延伸的第一内部电极；和在上述第一电极与上述第二电极之间从上述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷头，其特征在于，具有：振动板；固定板；和压电元件，所述压电元件包括：第一电极；第二电极；和被所述第一电极与所述第二电极夹持的压电体层，所述压电元件的第一端面的至少一部分与所述振动板相接，所述第一端面包括所述压电体层的第一端部，所述压电元件的第二端面的至少一部分与所述固定板相接，所述第二端面包括所述压电体层的第二端部，所述压电体层的第一端部介于所述第一电极的第一端部与所述振动板之间、以及所述第二电极的第一端部与所述振动板之间，所述压电体层的第二端部的至少一部分介于所述固定板与所述第二电极的第二端部之间。

【技术特征摘要】
2006.03.17 JP 2006-0755071.一种液滴喷头，其特征在于，具有: 振动板； 固定板；和 压电元件， 所述压电元件包括:第一电极；第二电极；和被所述第一电极与所述第二电极夹持的压电体层， 所述压电元件的第一端面的至少一部分与所述振动板相接，所述第一端面包括所述压电体层的第一端部， 所述压电元件...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥隼人，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：