应用在质谱仪中的减压装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种应用在质谱仪中的减压装置，包括：第一减压通道，所述第一减压通道包括第一减压模块；第二减压通道，所述第二减压通道包括串联的第二减压模块和预处理模块；所述第一减压通道和第二减压通道并联；第一切换模块，所述第一切换模块用于使进样管选择性地与所述第一减压通道或第二减压通道连通，输入端连接控制模块；排废管，所述排废管的输入端连通所述减压模块、第一减压模块；控制模块，所述控制模块输出端连接所述第一切换模块。本实用新型专利技术具有稳定性好、通用性好、可有效降低信号波动、有利于提高后续检测准确度等优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及质谱分析，特别涉及应用在质谱仪中的减压装置。
技术介绍
在线质谱根据不同物质质荷比不同进行分离及检测，完成对被测物质的分析。为达到最佳的检测效果，所有的分离及检测过程都在真空系统中完成，所以要求真空系统具备几个条件:1、长期稳定维持较高的真空度，通常在lE_5Torr以下；2、真空系统不易污染，背景噪声信号稳定；3、较长的维护及清洗周期；图1示意性地给出了现有技术中的一种减压装置的结构图，如图1所示，采用毛细管作为减压模块，该减压方案在大多数场合比较适用，但是对被测气体エ况要求较高，必须通过精密过滤0.1u以下，若在測量背景组分中含有容易冷凝的物质，则很容易造成毛细管吸附，堵塞，甚至污染真空腔体，导致真空系统真空度波动，以及背景噪声信号波动，从而引起测量不准。图2示意性地给出了现有技术中的另ー种减压装置的结构图，如图2所示，采用节流阀作为减压模块，该减压方案同毛细管方案，对被测气体エ况要求高；同吋，节流阀死体积比较大，气体置换慢。
技术实现思路
为了解决上述现有技术方案中的不足，本技术提供了ー种稳定性好、通用性好、可有效降低信号波动、有利于提高后续检测准确度的应用在质谱仪中的减压本文档来自技高网...

【技术保护点】
应用在质谱仪中的减压装置，所述减压装置包括：?第一减压通道，所述第一减压通道包括第一减压模块；?第二减压通道，所述第二减压通道包括串联的第二减压模块和预处理模块；所述第一减压通道和第二减压通道并联；?第一切换模块，所述第一切换模块用于使进样管选择性地与所述第一减压通道或第二减压通道连通，输入端连接控制模块；?排废管，所述排废管的输入端连通所述减压模块、第一减压模块；?控制模块，所述控制模块输出端连接所述第一切换模块。

【技术特征摘要】
1.应用在质谱仪中的减压装置，所述减压装置包括: 第一减压通道，所述第一减压通道包括第一减压模块； 第二减压通道，所述第二减压通道包括串联的第二减压模块和预处理模块；所述第一减压通道和第二减压通道并联； 第一切换模块，所述第一切换模块用于使进样管选择性地与所述第一减压通道或第二减压通道连通，输入端连接控制模块； 排废管，所述排废管的输入端连通所述减压模块、第一减压模块； 控制模块，所述控制模块输出端连接所述第一切換模块。2.根据权利要求1所述的减压装置，其特征在于:所述减压装置进ー步包括: 第二切换模块，所述第二切换模块用于使所述质谱仪的真空腔选择性地与第一减压通道或第二减压通道连通。3.根据权利要求1所述的减压装置，其特征在于:所述减压装置进ー步包括: 第三切换模块，所述第三模块用于使外界选择性地与第一减...

【专利技术属性】
技术研发人员：张进伟，郑利武，张飞，陈生龙，顾海涛，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：