【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊杰，李源，范国芳，陈欣，雷李华，毛辰飞，
申请(专利权)人：上海市计量测试技术研究院，
类型：实用新型
国别省市：
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