一种光幕传感器联锁方法技术

一种光幕传感器联锁方法，包括：光幕传感器(1)，传感器联锁信号(2)，左片库门刹车(3)，左片库电梯刹车(4)，左片库门和电梯(5)，右片库门刹车(6)，右片库电梯刹车(7)，右片库门和电梯(8)，电脑主界面(9)。其特征在于，光幕传感器(1)检测到障碍物时发出传感器联锁信号(2)，自动使离子注入机的片库门和片库电梯停止一切动作，确保设备片库门不会压到障碍物(如未到位晶片)，防止片库门压坏未到位晶片，避免操作人员进行调试时造成身体的挤压伤害，同时发出警报至电脑主界面(9)显示。本发明专利技术提升设备的安全保护功能，可确保离子注入机本身安全，保护操作人员的身体安全，提高离子注入机的可靠性和安全性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光幕传感器联锁方法，包括：光幕传感器(1)，传感器联锁信号(2)，左片库门刹车(3)，左片库电梯刹车(4)，左片库门和电梯(5)，右片库门刹车(6)，右片库电梯刹车(7)，右片库门和电梯(8)，电脑主界面(9)；光幕传感器(1)一旦触发，使离子注入机相应的片库门和电梯停止一切动作，防止片库门压坏障碍物，避免操作人员进行调试时造成身体的挤压伤害。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡东京，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：