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自动定向粘棒仪制造技术

技术编号:8692906 阅读:223 留言:0更新日期:2013-05-13 02:42
本实用新型专利技术涉及自动定向粘棒仪,可有效解决现有定向粘棒仪晶片角度的合格率低,劳动强度大,影响切割效果的问题,其解决的技术方案是,包括工作台、X射线管、计数管、靠板、测角装置、升降装置和平移装置,工作台前方一侧装有X射线管,紧挨X射线管的窗口有狭缝,工作台后方在x光的光路上装有计数管,狭缝与计数管之间位置有装在同一个旋转中心上的调角装置和测角装置,调角装置上方装有升降装置与平移装置,工作台中间装有底板,本实用新型专利技术测角准确,所切出的晶片角度合格率高,减轻操作人员的劳动强度,自动化程度高,是定向粘棒仪上的创新。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及仪器,特别是一种自动定向粘棒仪
技术介绍
目前使用的定向粘棒仪均采用将棒靠在靠板上的两个支点,一点是固定的,另一点是千分尺。将晶棒靠在两个支点上后,旋转千分尺,晶棒将随之旋转,寻找X射线的衍射最大值。测角的晶面为晶棒两端的任一R面。由于一根棒材平行切下的晶片,两端的角度有误差,一般相差20 — 30而且为逐渐变化,有些甚至误差在I' —2'。如果要求所切晶片角度误差在±30或更小,则只有测角那一端的晶片角度符合要求,合格率低,因此经济效益较差。如改为测棒的Z面中间,则晶片角度的合格率会成倍的增加。在多刀机料板上,IOmm厚,20mm宽的棒材要粘5层,由于X射线的高度是固定的,因此每粘完一层,都要将沉重的料板搬下来,去掉一层垫条,再搬上料板进行下一层的操作。每层又要粘七根棒材,每粘完一根,必须将加在基准面上的力去掉,再将料板向前移动一根棒的宽度距离,再加上基准面上的力。这样使操作人员的劳动强度极大。在粘棒时,一方面要尽量多粘棒,另一方面还要保证切割沙能流入棒材间隙,但是用目前使用的定向粘接,很难保证两个棒材之间的等距,特别是粘第一层时更难保证,这样影响切割效果,因此,定向粘棒仪的改进和创新是目前亟需解决的问题。
技术实现思路
针对上述情况,为解决现有技术之缺陷,本技术之目的就是提供一种自动定向粘棒仪,可有效解决现有定向粘棒仪晶片角度的合格率低,劳动强度大,影响切割效果的问题。本技术解决的技术方案是,包括工作台、X射线管、计数管、靠板、测角装置、升降装置和平移装置,工作台前方一侧装有X射线管,紧挨X射线管的窗口有狭缝,工作台后方在X光的光路上装有计数管,狭缝与计数管之间位置有装在同一个旋转中心上的调角装置和测角装置,调角装置上方装有升降装置与平移装置,工作台中间装有底板。本技术测角准确,所切出的晶片角度合格率高,减轻操作人员的劳动强度,自动化程度高,是定向粘棒仪上的创新。附图说明图1为本技术的结构主视剖面图。图2为本技术的结构俯视图。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细说明。由图1-2给出,本技术包括工作台7、X射线管3、计数管4、靠板10、测角装置、升降装置和平移装置,工作台7前方一侧装有X射线管3,紧挨X射线管3的窗口有狭缝9,工作台7后方在X光的光路上装有计数管4,狭缝9与计数管4之间位置有装在同一个旋转中心5上的调角装置和测角装置,调角装置上方装有升降装置与平移装置,工作台7中间装有底板22。所述的调角装置结构是,工作台7上一侧装有调角电机30,调角电机30与装在调角杠杆32上的调角千分尺31相连接,调角杠杆32与底板22相连,底板22两端上面装有两个对称的垫块6,垫块6上面装有滑轨28,滑轨28上装有两个对称的滑块29,底板22通过底板轴承8安装在旋转中心5的外周上;X射线管3射出的X射线经过狭缝9后形成接近平行的X光射向装在靠板10上的支架11上的晶棒中心位置。所述的测角装置结构是,靠板10安装在旋转中心5的内轴上端,位于底板22与滑轨28之间,旋转中心5的内轴下端在工作台7下方一侧装有测角杠杆2,工作台7下部与测角杠杆2同侧装有测角电机34,测角电机34与装在测角杠杆2上的测角千分尺I相连,靠板10的上横梁一端装有固定晶棒的支架11,另一端装有固定晶棒的弹簧压片12。所述的升降装置结构是,安装在滑块29上的滑板13的前方有基准面33,基准面33内四个角装有相同的升降蜗轮15,升降蜗轮15与滑板13之间装有升降轴承14,升降蜗轮15装在升降轴承14的内径上,升降蜗轮15高出滑板13部分的外径上装有第一同步带轮16,滑板13的右下方安装有升降电机19,升降电机19轴上装有第二同步带轮20,同步带21将第一同步带轮16及第二同步带轮20连接在一起,升降蜗轮15中心旋有升降蜗杆17,升降蜗杆17上端固定在料板平台18上。所述的平移装置结构是,底板22上装有平移电机23及平移蜗杆26,平移蜗杆26两端由两个固定在底板22上的轴承架24支撑,平移电机23的轴与平移蜗杆一端经联轴器27连接,平移蜗轮25装在滑板13上,平移蜗杆26套在平移蜗轮25当中。本技术的使用情况是:1、校正标准板,开机后先将标准板的角度输入到切割角度中,校角时调角电机30带 动调角千分尺31旋转,再使调角杠杆32旋转,此时则底板22,滑板13,基准面33及靠在基准面33上的标准板都将旋转,而射到晶棒上的X射线经过衍射到计数管4,当旋转到计数管4反应出的电压达到最大值时,即为标准板的角度。再将当前准备切割的角度输入到液晶显示屏的切割角度一栏中,设备则会自动调整到当前的切割角度;2、将晶棒的厚度,及每层棒粘后的总宽度和每层粘棒的根数输入到显示屏相应栏内,即可开始粘棒。将晶棒靠到靠板上,并顶住固定晶棒的支架11,将弹簧压片12搬下,压紧晶棒的另一端,按下开始按钮,则测角电机34带动测角千分尺1,测角杠杆2及靠板10和晶棒同时旋转,当找到最大值时自动停止,晶棒粘牢后,将弹簧压片12搬上去,按一下右行键,即通过平移装置自动移到粘下一根的位置,当粘完一层后,按下行键,则自动下降一层,停止后,再按左行键,即通过平移返回到粘第一根的初始位置。整个过程除了涂胶,放晶棒是手工操作外,其余全部是由CPU程序操作,自动运行。本技术粘接石英晶体时,原靠人工旋转晶棒找角度,改为仪器自动找角度,测晶面R面改为测Z面;粘多层棒时,每加一层都需搬下料板,抽减一层垫条,再搬上料板,改为根据晶棒厚度自动降低;粘一层晶棒时,每粘一根都需人工将料板往后移一根的距离,改为自动往后移,确保每两根距离相等。本技术与现有技术相比具有以下优点:1、可以克服只有工作几年的操作人员才能切出合格率较高的晶片;2、可以克服即使熟练的操作人员粘得再好,由于棒材本身两端的角度误差,所切晶片合格率也不会很高;3、可以克服每粘一层都需将料板搬上搬下,加减垫条,不但费力而且费时;4、可以克服粘棒的棒材间距不等,影响切割精度;5、可以实现自动寻峰,改变测角位置,自动升降,自动平移。本技术设备,结构新颖独特,傻瓜式操作,测角准确,晶片合格率高,自动化程度高,减轻了操作人员的劳动强度,可给使用单位带来很高的经济效益,是定向粘棒的理想换代产品,具有良好的经济和社会效益。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动定向粘棒仪,包括工作台(7)、X射线管(3)、计数管(4)、靠板(10)、测角装置、升降装置和平移装置,其特征在于,工作台(7)前方一侧装有X射线管(3),紧挨X射线管(3)的窗口有狭缝(9),工作台(7)后方在x光的光路上装有计数管(4),狭缝(9)与计数管(4)之间位置有装在同一个旋转中心(5)上的调角装置和测角装置,调角装置上方装有升降装置与平移装置,工作台(7)中间装有底板(22)。

【技术特征摘要】
1.种自动定向粘棒仪,包括工作台(7)、x射线管(3)、计数管(4)、靠板(10)、测角装置、升降装置和平移装置,其特征在于,工作台(7)前方一侧装有X射线管(3),紧挨X射线管(3)的窗口有狭缝(9),工作台(7)后方在X光的光路上装有计数管(4),狭缝(9)与计数管(4)之间位置有装在同一个旋转中心(5)上的调角装置和测角装置,调角装置上方装有升降装置与平移装置,工作台(7)中间装有底板(22)。2.据权利要求1所述的自动定向粘棒仪,其特征在于,所述的调角装置结构是,工作台(7)上一侧装有调角电机(30),调角电机(30)与装在调角杠杆(32)上的调角千分尺(31)相连接,调角杠杆(32)与底板(22)相连,底板(22)两端上面装有两个对称的垫块(6),垫块(6)上面装有滑轨(28),滑轨(28)上装有两个对称的滑块(29),底板(22)通过底板轴承(8)安装在旋转中心(5)的外周上;X射线管(3)射出的X射线经过狭缝(9)后形成接近平行的X光射向装在靠板(10)上的支架(11)上的晶棒中心位置。3.据权利要求1所述的自动定向粘棒仪,其特征在于,所述的测角装置结构是,靠板(10)安装在旋转中心(5)的内轴上端,位于底板(22)与滑轨(28)之间,旋转中心(5)的内轴下端在工作台(7)下方一侧装有测角杠杆(2),工作台(...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔺志新
申请(专利权)人:蔺志新
类型:实用新型
国别省市:

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