带有摇动机构的多线切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种涉及切割装置技术领域的带有摇动机构的多线切割装置，包括若干根钢线、两个导轮和两根钢线，每根钢线套设于两个对称导轮的开槽内，两根钢线分别穿在两个导轮中且控制导轮，其特征在于，所述多线切割装置应用于带有工件下降装置的多线切割装置，所述工件下降装置上带有摇动机构。本实用新型专利技术是应用于工件下降式多线切割装置，且带有使工件摇动的机构，主要用于加工如硅晶、蓝宝石、SiC等难切材料。本实用新型专利技术使缩小钢线导轮的间隔成为可能，摇动机构的本体达成小型化（设备所必须高精度价格高的部件的数量可以减少到最低限度），有降低控制装置的制造成本的效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

带有摇动机构的多线切割装置
本技术涉及切割装置
，具体涉及一种带有摇动机构的多线切割装置。
技术介绍
针对半导体、结晶系太阳能电池的基板主要是以Si为原料的单晶或者多晶来制 作。从拉晶或者铸造状态加工到基板外形的晶棒的加工装置包括若干根钢线100和两个导 轮和两根钢线，每根钢线100套设于两个对称导轮的开槽内，两个导轮分别通过穿在导轮 中的钢线控制，每根钢线100 —边双向高速移动一边推向工件200，本加工装置为多线切割 来加工薄晶片能够一次取得大量晶片。加工晶片时，一为使用将砂浆涂抹于钢线100上获 取切割能力的方法，二为采用金刚线的方法，2种使用钢线100进行高速移动切割的方法有 很大区别，本技术是着眼于后者的使用金刚线加工之装置。LED或者被称为能量装置的 基板上使用着比Si硬度更高的材料，例如蓝宝石及SiC为代表的难切材料，近年来由于市 场上出现省电化的倾向，LED及能量装置的需求有所增大，伴随着基板生产量的增加，就要 求难切材料的切割生产性的提高。为使难切材料上更高效率地使用金刚线加工，在加工时，有效将切割产生的碎屑 和加工时产生的热量从切割槽中排出，既要不妨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有摇动机构的多线切割装置，包括若干根钢线、两个导轮和两根钢线，每根钢线套设于两个对称导轮的开槽内，两根钢线分别穿在两个导轮中，其特征在于，所述多线切割装置应用于带有工件下降装置的多线切割装置，所述工件下降装置上带有摇动机构。

【技术特征摘要】
1.一种带有摇动机构的多线切割装置，包括若干根钢线、两个导轮和两根钢线，每根钢线套设于两个对称导轮的开槽内，两根钢线分别穿在两个导轮中，其特征在于，所述多线切割装置应用于带有エ件下降装置的多线切割装置，所述エ件下降装置上帯有摇动机构。2.如权利要求1所述的带有摇动机构的多线切割装置，其特征在于，所述摇动机构的摇动中心设...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴田健一，贺贤汉，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：