一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，所述气体过滤装置包括从上至下依次连接的上封头、直筒部和下封头，其中，所述过滤装置的上部设有用于排出过滤后的气体的出气口且下部设有用于排出废渣的排渣口，所述直筒部的下部设有用于向所述直筒内导入待过滤气体的进气口，且所述进气口的上方设有过滤部，所述过滤部包括设有通孔的花盘以及设在所述通孔中的陶瓷滤芯。根据本实用新型专利技术的气体过滤装置，由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置，该过滤装置具有耐高温，耐腐蚀的优良特性，不会对多晶硅产品质量造成影响；陶瓷滤芯可以根据过滤精度的要求，生产不同精度的滤芯，且陶瓷滤芯成型简单，价格低廉。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产工艺
，更具体地，本技术涉及一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置。
技术介绍
我国现阶段多晶硅项目工艺技术85%以上都属于西门子工艺技术，该工艺过程中，有众多系统需要进行气体过滤。具体有:四氯化娃氢化生产三氯氢娃系统、三氯氢娃合成系统、还原尾气干法回收系统等。目前一般采用的过滤器均为布袋过滤器，而在生产过程中，发现布袋过滤器存在如下几个缺点:1、布袋过滤器耐高温性能差。尤其是在三氯氢硅合成系统、以及四氯化硅氢化生产三氯氢硅系统中，发现布袋过滤器非常容易出现破损，导致过滤效果严重下降，最终造成后续系统堵塞；2、布袋过滤器容易破损，就造成气体中的粉尘量大量增加，最终造成产品质量出现大幅下降；3、布袋过滤器价格昂贵，目前进口的滤材折算到成品滤袋上，每平方米价格达到1000元以上；4、布袋过滤器的滤材耐腐蚀性能差，同时支撑件在检修过程中容易腐蚀，造成检修困难，且检修成本高。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本技术的一个目的在于提出一种过滤性能好、成本低、检修方便的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置。根据本技术示本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，其特征在于，包括从上至下依次连接的上封头、直筒部和下封头，其中，所述过滤装置的上部设有用于排出过滤后的气体的出气口且下部设有用于排出废渣的排渣口，所述直筒部的下部设有用于向所述直筒内导入待过滤气体的进气口，且所述进气口的上方设有过滤部，所述过滤部包括设有通孔的花盘以及设在所述通孔中的陶瓷滤芯。

【技术特征摘要】
1.种用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，其特征在于，包括从上至下依次连接的上封头、直筒部和下封头，其中， 所述过滤装置的上部设有用于排出过滤后的气体的出气口且下部设有用于排出废渣的排渣口， 所述直筒部的下部设有用于向所述直筒内导入待过滤气体的进气口，且所述进气口的上方设有过滤部，所述过滤部包括设有通孔的花盘以及设在所述通孔中的陶瓷滤芯。2.据权利要求1所述的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，其特征在于，所述通孔为多个，所述多个通孔沿所述花盘的径向和轴向均匀分布，每个所述通孔内均设有所述陶瓷滤芯。3.据权利要求2所述的用于多晶硅生产工艺的气体过滤装置，其特征在于，所述通孔和所述陶瓷滤芯的个数被设置成能够将所述气体的流速控制在0.0l 0.2m/s。4.据权利要求2所述的用于多晶硅生产工艺的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：万烨，严大洲，毋克力，肖荣晖，汤传斌，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：