铜蚀刻废液的处理方法技术

本发明专利技术的课题是提供一种能将高浓度含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的过氧化氢加以有效分解处理的方法。本发明专利技术提供了一种铜蚀刻废液的处理方法，其是将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整为pH4以上。如将通常pH为3以下的属于强酸性液的铜蚀刻废液的pH调整为4以上，则会发生含有铜的SS(悬浮污泥)，且所发生的SS能作为过氧化氢的分解催化剂而发挥功能，因此，仅将铜蚀刻废液调整为pH4以上，不需要稀释或加热，并且，不需要调整pH的碱剂以外的药品，就能有效分解铜蚀刻废液中的过氧化氢。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及从液晶制造エ序等所排出的含有过氧化氢的。
技术介绍
液晶制造エ序中的铜蚀刻处理，通常使用含有高浓度的过氧化氢的药剂。因此，从铜蚀刻エ序所排出的铜蚀刻废液中含有高浓度的过氧化氢，其过氧化氢浓度通常为I重量％以上，有时会有高至6重量％左右的情形。以往以来，由于过氧化氢浓度高的铜蚀刻废液，进行水处理较困难，因此，稀释后作为产业废弃物进行处理，但是如过氧化氢浓度高时，则在产业废弃物处理时有爆炸的危险性，即使供为废液处理时，仍然需要预先将过氧化氢加以处理。作为过氧化氢的处理方法，一般使用:活性炭、过氧化氢酶(catalase)、锰催化剂(manganese catalyst)等,但是如过氧化氢浓度在超过1000mg/L时,则有催化剂性能的低落或催化剂使用量増大等的课题。因此，如对过氧化氢浓度为I重量％以上的铜蚀刻废液，适用此种处理方法时，在实用上有问题。以往以来，作为含有高浓度的过氧化氢的铜蚀刻废液中所含的过氧化氢的处理方法，有人提出将铜蚀刻废液加热为60至80°C，并在该温度范围维持0.5至10小时的方法(专利文献I)。然而，该方法中，具有过氧化氢的分解需要加热用的热能量、并且分解所需要的时间长的缺点。实际上，在专利文献I的实施例中，将铜蚀刻废液加热为80°C后保持7小时以分解过氧化氢。又，也有在处理含高浓度过氧化氢的溶液之前，使用处理水等使其稀释以降低过氧化氢浓度后再依常规方法加以处理的方法，但是此种方法需要稀释水，另外，有徒然増加处理液量，结果有反应槽等会大型化的问题。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2004-238683号公报专利
技术实现思路
[专利技术所要解决的课题]本专利技术的课题在于提供一种即使含有高浓度的过氧化氢的铜蚀刻废液，仍能有效分解处理铜蚀刻废液中的过氧化氢的方法。[解决课题的方法]本专利技术人为解决上述课题而专心研究的结果发现，将通常为pH3以下的属于强酸性液的铜蚀刻废液的pH调整为4以上吋，则发生含有铜的SS (Suspended solid:悬浮污泥)，而所发生的SS能作为过氧化氢的分解催化剂发挥功能，因此，仅调整铜蚀刻废液为PH4以上，则不需要稀释或加热，并且，不需要调整pH的碱剂以外的药品，就能有效分解铜蚀刻废液中的过氧化氢。本专利技术，是根据此种认识而完成的，并且以下列技术方案作为要旨。第I技术方案的，其特征在于，其包含将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整至PH4以上的工序。第2技术方案的，其特征在于，在第I技术方案中，其包含将通过前述将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整至PH4以上的工序所发生的SS (Suspendedsolid:悬浮污泥)进行固液分离(solid-liquid separation)的工序。第3技术方案的，其特征在于，在第2技术方案中，其包含将经固液分离的前述SS的一部分或全部添加于含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的工序。第4技术方案的，其特征在于，在第2或3技术方案中，其包含将经固液分离的前述SS进行回收的工序。第5技术方案的，其特征在于，在第I至4中的任一技术方案中，其包含将通过前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液的处理所得到的处理水作为稀释水添加于前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的工序。第6技术方案的，其特征在于，在第I至5中的任一技术方案中，前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液的过氧化氢浓度为I重量％以上、且pH为3以下。第7技术方案的，其特征在于，在第6技术方案中，前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液的过氧化氢浓度为I 10重量％、？!1为I 3,并且,过氧化氢以外的成分含量为:铜0.1 1.0重量％、总氮0.3 2.0重量％、T0C( total organic carbon:总有机碳)0.5 3.0重量％。第8技术方案的铜蚀 刻废液的处理方法，其特征在于，在第I至7中的任一技术方案中，其于前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液中添加碱剂调整pH至6 9。第9技术方案的，其特征在于，在第2至8中的任一技术方案中，其将前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整至PH4以上并使反应0.25 2.0小时，然后，将所发生的SS进行固液分离。第10技术方案的，其特征在于，在第5至9中的任一技术方案中，其通过于前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液中添加前述稀释水，以使液温维持在40 70°C。第11技术方案的铜蚀刻废液的处理装置，其特征在于，其具备:可导入含有过氧化氢的铜蚀刻废液的pH调整槽、于pH调整槽中添加碱剂的碱剂添加装置、测定pH调整槽内的pH的pH计、根据pH计的测定值以控制碱剂添加装置的控制装置、可导入pH调整槽的流出液的反应槽、可导入反应槽的流出液的固液分离装置、将通过固液分离装置分离的污泥的一部分回送至pH调整槽的装置、以及可导入分离污泥的剩余部分的脱水装置。第12技术方案的铜蚀刻废液的处理装置，其特征在于，在第11技术方案中，其具有将通过前述固液分离装置分离的处理水的一部分添加于前述PH调整槽中的装置。[专利技术的效果]根据本专利技术，则仅于含有过氧化氢的铜蚀刻废液中添加碱剂以调整pH为4以上，可在不需要加热用的能量或稀释、碱剂以外的药品的添加等，就有效分解去除铜蚀刻废液中的过氧化氢。也即，如将铜蚀刻废液调整为pH4以上，则会发生含有铜的SS。于是，该SS中所含的铜，即作为过氧化氢的分解催化剂(decompositoion catalyst)而发挥功能。因此,根据本专利技术，仅于含有过氧化氢的铜蚀刻废液添加碱剂以调整PH为4以上，不需要加热用的能量或稀释、碱剂以外的药品的添加等，就能有效分解去除铜蚀刻废液中的过氧化氢。于本专利技术中，也可将所发生的SS进行固液分离后添加于铜蚀刻废液中。又，该SS是以铜作为主成分，因此，也可将经固液分离的SS作为铜原料而进行回收，并再利用从SS分离回收的铜。本专利技术中所处理的铜蚀刻废液，是通常含有I重量％以上的高浓度的过氧化氢、PH3以下的强酸性废液。附图说明图1是表示本专利技术的的实施方式的一个实例的系统图。图2是表示本专利技术的的实施方式的另ー个实例的系统图。图3是表示本专利技术的的实施方式的再一个实例的系统图。具体实施例方式将本专利技术的实施方式详细说明如下。本专利技术中作为处理对象的含有过氧化氢的铜蚀刻废液，是指从使用含有过氧化氢的药剂的铜蚀刻エ序所排出的含有过氧化氢的铜蚀刻废液，通常，其过氧化氢浓度为0.1至10重量％左右，但是本专利技术特别是对依常规方法进行过氧化氢的分解是困难的过氧化氢浓度为I重量％以上、例如I至10重量％左右的铜蚀刻废液是有效的。又，此种铜蚀刻废液的pH，通常为3以下、例如I至3左右，作为过氧化氢以外的成分的含量，通常为如下所示。铜含量:0.1至1.0重量%总氮:0.3至2.0重量%TOC:0.5 至 3.0 重量 %于本专利技术中，对此种含过氧化氢的铜蚀刻废液添加碱剂以调整pH为4以上、较优选为6以上、更优选为7至9。经调整pH值为4以上，可有效分解去除过氧化氢。从过氧化氢的分解效率的方面而言，调整PH值较高者较优选，但是从碱剂使用量的减低、作业环境的安全性的方面来看，优选调整PH值为在上述上限以下。作为铜蚀刻废液的pH调整所用的碱剂，并不特别加以限制，可采用氢氧化钠、氢氧化钾等通用的碱剂的I种或2种以上。作为经调整铜蚀刻废液的pH后的反应时间，只要是铜蚀刻废液中的过氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.08 JP 2010-2011581.一种铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，其包含将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整至PH4以上的工序。2.按权利要求1所述的铜蚀刻废液的处理方法，其中，其包含将通过前述将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整至PH4以上的工序所发生的SS进行固液分离的工序。3.按权利要求2所述的铜蚀刻废液的处理方法，其中，其包含将经固液分离的前述SS的一部分或全部添加于含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的工序。4.按权利要求2或3所述的铜蚀刻废液的处理方法，其中，其包含将经固液分离的前述SS进行回收的工序。5.按权利要求1至4中 任一项所述的铜蚀刻废液的处理方法，其中，其包含将通过前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液的处理所得到的处理水作为稀释水添加于前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的工序。6.按权利要求1至5中任一项所述的铜蚀刻废液的处理方法，其中，前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液的过氧化氢浓度为I重量％以上、且pH为3以下。7.按权利要求6所述的铜蚀刻废液的处理方法，其中，前述含有过氧化氢的铜蚀刻废液的过氧化氢浓度为I 10重量％、pH为I 3,并且,过氧化氢以外的成分含量为:铜0.1 1...

【专利技术属性】
技术研发人员：中原敏次，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：
国别省市：