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铜蚀刻废液的处理方法技术
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文档序号:8687182
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本发明的课题是提供一种能将高浓度含有过氧化氢的铜蚀刻废液中的过氧化氢加以有效分解处理的方法。本发明提供了一种铜蚀刻废液的处理方法,其是将含有过氧化氢的铜蚀刻废液调整为pH4以上。如将通常pH为3以下的属于强酸性液的铜蚀刻废液的pH调整为4以...
该专利属于栗田工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过栗田工业株式会社授权不得商用。
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