本发明专利技术涉及一种电源系统，所述电源系统包括电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，在循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内，从而实现对所述电源模块的冷却，避免将加热的气体排放到洁净室中。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对半导体设备提供直流电源的电源装置，特别是涉及一种电源系统。
技术介绍
在洁净室中的半导体设备，如金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organicChemical Vapor Deposition,简称M0CVD)等设备,需要专门的电源装置提供直流电源,所述电源装置中具有大功率的直流电源模块，所述电源模块在工作时会产生出大量的热能并使所述电源模块温度上升，如果所述电源模块的温度过高会导致所述电源模块工作效率变低甚至会烧毁所述电源模块。为了保证所述电源模块能正常工作，所述电源模块自带有冷却风机，所述冷却风机的作用是向所述电源模块内抽入冷却气体(冷却气体为洁净室的气体，其的温度一般为洁净室的室温)对所述电源模块的散热器降温，所述冷却气体与所述电源模块的散热器进行热交换，使所述电源模块的散热器得到降温，所述冷却气体被加热为加热的气体，同时所述电源模块排出所述加热的气体到所述电源装置中，这些加热的气体直接由所述电源装置内的排放风机抽走并排放到洁净室里。由所述电源装置排出的大量加热的气体会给洁净室的空调系统增加大量的负担，因此需增加空调系统的容量，导致空调系统成本增加；通常洁净室中都要求温度恒定在一定的温度范围内，如22°C 24°C之间，然而，由所述电源装置排出的大量加热的气体破坏了洁净室局部地方的恒温环境，对半导体的工艺制备产生不良影响。因此，如何提供一种半导体设备的所述电源装置的冷却技术，减少或消除现有技术中破坏洁净室的恒温环境的问题，已成为本领域技术人员需要解决的技术。
技术实现思路
现有技术的电源系统存在破坏洁净室的恒温环境以及空调系统成本高的问题，本专利技术提供一种能解决上述问题的电源系统。本专利技术提供一种电源系统，包括:电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。进一步的，所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路。进一步的，所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。进一步的，所述电源装置的出气孔与所述第一通道的进气口连接，所述电源装置的进气孔与所述第一通道的出气口连接，从而构成所述气体循环回路。进一步的，所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。进一步的，所述第一通道嵌套在所述第二通道内。进一步的,所述第一通道为螺旋状或分枝状。进一步的，所述冷却液为冷却水或冷却油。进一步的，所述第二通道具有一冷却液输入管和一冷却液输出管，所述冷却液为冷却水，所述冷却液输入管和冷却液输出管均分别一端与所述第二通道相连，另一端通向安装所述半导体设备的洁净室外；或所述冷却液为冷却油，在安装所述半导体设备的洁净室外还设置有一冷却油冷却单元，所述冷却液输入管和冷却液输出管均分别一端与所述第二通道相连，另一端连接所述冷却油冷却单元。进一步的，所述半导体设备为金属有机化学气相沉积设备。与现有技术相比，本专利技术提供的电源系统具有以下优点:1.本专利技术的电源系统中，所述冷却装置搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液，所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，与现有技术相比，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内，继续对所述电源模块进行冷却，从而避免了将所述加热的气体排放到安装所述半导体设备的洁净室中，直接在所述气体循环回路的所述第一通道中对所述加热的气体进行冷却，降低了洁净室空调系统成本增加，并保证了所述洁净室局部地方的恒温环境。2.本专利技术的电源系统中，所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路，避免了所述加热的气体被排放到所述洁净室中，使所述加热的气体从所述冷却装置排除后直接进入所述冷却装置，可以有效地防止所述加热的气体与所述洁净室的气体进行热交换。3.本专利技术的电源系统中，所述第一通道嵌套在所述第二通道内，进一步的所述第一通道为螺旋状或分枝状，或所述第二通道嵌套在所述第一通道内，进一步的所述第二通道为螺旋状或分枝状，可以增加所述加热的气体与所述冷却液的热交换效率。附图说明图1是本专利技术一实施方式的电源系统的示意图；图2是本专利技术一实施方式的电源系统的示意图；图3是本专利技术一实施方式的电源系统的示意图。具体实施方式现有技术的电源系统中，被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体直接被排放到安装所述半导体设备的洁净室中，从而破坏了所述洁净室局部地方的恒温环境，并导致空调系统成本增加。专利技术人经过对现有技术电源系统的深入研究发现，将一冷却装置搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内，从而避免将加热的气体排放到洁净室中。现有技术的电源系统并没有设置所述冷却装置对所述加热的气体进行冷却并循环使用。有鉴于上述的研究，本专利技术提出一种可以使所述加热的气体进行冷却并循环使用的电源系统，所述电源系统电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动。进一步的，为了有效地防止所述加热的气体与所述洁净室的气体进行热交换，所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路，防止被加热的气体泄露。进一步的，为了增加所述加热的气体与所述冷却液的热交换效率，所述第一通道嵌套在所述第二通道内本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电源系统，其特征在于：包括：电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。
【技术特征摘要】
1.一种电源系统,其特征在于:包括: 电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体； 冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液； 所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。2.按权利要求1所述的电源系统，其特征在于:所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路。3.按权利要求2所述的电源系统，其特征在于:所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。4.按权利要求1所述的电源系统，其特征在于:所述电源装置的出气...
【专利技术属性】
技术研发人员：张义明，陈力兵，祝龙飞，房伟，
申请(专利权)人：光达光电设备科技嘉兴有限公司，
类型：发明
国别省市：
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