【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对半导体设备提供直流电源的电源装置，特别是涉及一种电源系统。
技术介绍
在洁净室中的半导体设备，如金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organicChemical Vapor Deposition,简称M0CVD)等设备,需要专门的电源装置提供直流电源,所述电源装置中具有大功率的直流电源模块，所述电源模块在工作时会产生出大量的热能并使所述电源模块温度上升，如果所述电源模块的温度过高会导致所述电源模块工作效率变低甚至会烧毁所述电源模块。为了保证所述电源模块能正常工作，所述电源模块自带有冷却风机，所述冷却风机的作用是向所述电源模块内抽入冷却气体(冷却气体为洁净室的气体，其的温度一般为洁净室的室温)对所述电源模块的散热器降温，所述冷却气体与所述电源模块的散热器进行热交换，使所述电源模块的散热器得到降温，所述冷却气体被加热为加热的气体，同时所述电源模块排出所述加热的气体到所述电源装置中，这些加热的气体直接由所述电源装置内的排放风机抽走并排放到洁净室里。由所述电源装置排出的大量加热的气体会给洁净室的空调系统增加大量的负担，因此需增加空调系统的容量，导致...
【技术保护点】
一种电源系统，其特征在于：包括：电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体；冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液；所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。
【技术特征摘要】
1.一种电源系统,其特征在于:包括: 电源装置，用于对半导体设备提供直流电源，所述电源装置内具有一电源模块以及被所述电源模块因工作产生的热量而加热的气体； 冷却装置，搭载在所述电源装置上，所述冷却装置包括第一通道以及与所述第一通道相接触进行热交换的第二通道，所述第二通道内具有外接循环流动的冷却液； 所述第一通道与所述电源装置相连通构成一气体循环回路，所述气体循环回路中设置有一循环单元，在所述循环单元的作用下所述气体在所述气体循环回路内循环流动，所述加热的气体由所述电源装置流动到所述第一通道中，将热量传递给所述第二通道内的冷却液，所述气体得到冷却后，流回所述电源装置内。2.按权利要求1所述的电源系统，其特征在于:所述电源装置的出气孔正对贴合所述第一通道的进气口，所述电源装置的进气孔正对贴合所述第一通道的出气口，从而构成所述气体循环回路。3.按权利要求2所述的电源系统，其特征在于:所述循环单元为冷却风机，所述冷却风机位于所述电源装置的出气孔和进气孔处，或所述循环单元为循环泵，所述循环泵位于所述第一通道内。4.按权利要求1所述的电源系统，其特征在于:所述电源装置的出气...
【专利技术属性】
技术研发人员：张义明，陈力兵，祝龙飞，房伟，
申请(专利权)人：光达光电设备科技嘉兴有限公司，
类型：发明
国别省市：
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