【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微刀具的制造方法,该方法加工的微刀具可用于超精密加工和微细加工领域中的复杂微纳结构和器件的加工制造,也可用于纳米级切削的机理研究应用中。
技术介绍
在超精密加工中要获得零件形状尺寸的高精度和加工表面的超光滑,除了必须拥有超精密的机床、高分辨率的检测仪器和超稳定的加工环境条件以外,还须具备进行切削加工的高精度微型刀具。而刀具刃口半径越小,切削加工中应力越集中,变形越容易,切削力越小,加工表面质量越好。刃口半径对切削过程有较大影响,同时对切削力、切削温度和切屑变形系数都有不同程度的影响。因此,减小刃口半径,可减小刀具对金属的挤压力,使金属的变形程度降低,减缓金属的冷作硬化,有助于提高切削过程的稳定性,改善加工表面质量和延长刀具使用寿命。国内对刀具刃磨技术的研究起步较晚,还不能稳定达到高精度刀具的技术指标。如在刀具刃磨工艺方面,只能将直线刃金刚石刀具的切削刃钝圆半径刃磨到IOOnm左右。本专利技术首先利用聚焦离子束对刀具进行粗加工,然后采用车削或抛光方法去掉聚焦离子束粗加工中的非晶层,最后利用聚焦离子束精修技术降低微刀具刃口半径,刃口圆弧半径可小于2 ...
【技术保护点】
一种锋利刃口微刀具的制造方法,通过以下步骤实现:(1)利用聚焦离子束对微刀具毛坯进行粗加工,加工出刀具前刀面;(2)利用车削或抛光方法去除刀具前刀面因离子束加工产生的纳米尺度非晶改性层,对刀具前刀面进行优化处理;(3)将前刀面优化处理后的微刀具放进聚焦离子束真空样品室内,依据刃口形状和尺寸要求,利用聚焦离子束铣削精修,加工出微刀具的后刀面和侧刀面,实现锋利刃口刀具制造。
【技术特征摘要】
1.一种锋利刃口微刀具的制造方法,通过以下步骤实现: (1)利用聚焦离子束对微刀具毛坯进行粗加工,加工出刀具前刀面; (2)利用车削或抛光方法去除刀具前刀面因离子束加工产生的纳米尺度非晶改性层,对刀具前刀面进行优化处理; (3)将前刀面优化处理后的微刀具放进聚焦离子束真空样品室内,依据刃口形状和尺寸要求,利用聚焦离子束铣削精修,加工...
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