并联运动解耦伺服控制平台制造技术

本发明专利技术公开了一种并联运动解耦伺服控制平台，包括：基座；第一和第二直线电机；和运动平台，所述运动平台安装在所述第一和第二直线电机之间，所述运动平台的第一和第二侧边分别与所述第一和第二电机动子相连且分别在所述第一和第二电机动子的驱动下沿所述第一和第二水平方向移动。根据本发明专利技术实施例的并联运动解耦伺服控制平台，采用并联式结构，结构简单且对称，第一和第二水平方向的运动组件可以互换，便于加工及维护，并且在工作时更容易保证运动平台在运动时的水平度，从驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致，有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及两轴联动解耦机构
，更具体地，涉及一种并联运动解耦伺服控制平台。
技术介绍
目前广泛采用的两轴平面运动平台多采用旋转电机加滚珠丝杠等传动方式，在这种情况下，旋转电机通过丝杠将旋转运动转化为直线运动，存在传动环节，使得运动副之间存在间隙等非线性环节，且运动部分质量大，限制了平台的运动速度、加速度及控制精度等性能指标。所以开发新型驱动方式和机构(低摩擦、高加速度、运动解耦机构)的高速高精度运动系统已成为激光加工、精密光电检测等领域的重要研究内容。目前国际以及国内精密定位平台多采用直线电机驱动的方式取代以往的旋转电机驱动方式以简化工作组件组成、减少装配和组件间隙误差。例如美国H2W Tech公司生产的31-0305xy音圈电机驱动平台，是目前市场上较为成熟及定位精度较高的一款定位平台。其理论上具有无线分辨率、无滞后、高响应、高速、体积小等优点。但是经过我们的应用发现其存在的以下不足如音圈电机驱动线缆随各级运动平台运动对于高速轨迹跟踪控制产生干扰；底层平台驱动质量较大对于高速、高加速轨迹跟踪控制存在先天不足。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种并联运动解耦伺服控制平台，其特征在于，包括：基座；第一和第二直线电机，所述第一和第二直线电机分别安装在所述基座上且分别沿相互垂直的第一和第二水平方向延伸，所述第一和第二直线电机分别包括第一和第二电机动子，所述第一和第二电机动子分别与所述第一和第二直线电机相连且分别在所述第一和第二直线电机的驱动下沿所述第一和第二水平方向移动；和运动平台，所述运动平台安装在所述第一和第二直线电机之间，所述运动平台的第一和第二侧边分别与所述第一和第二电机动子相连且分别在所述第一和第二电机动子的驱动下沿所述第一和第二水平方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种并联运动解耦伺服控制平台，其特征在于，包括: 基座; 第一和第二直线电机，所述第一和第二直线电机分别安装在所述基座上且分别沿相互垂直的第一和第二水平方向延伸，所述第一和第二直线电机分别包括第一和第二电机动子，所述第一和第二电机动子分别与所述第一和第二直线电机相连且分别在所述第一和第二直线电机的驱动下沿所述第一和第二水平方向移动；和 运动平台，所述运动平台安装在所述第一和第二直线电机之间，所述运动平台的第一和第二侧边分别与所述第一和第二电机动子相连且分别在所述第一和第二电机动子的驱动下沿所述第一和第二水平方向移动。2.根据权利要求1所述的并联运动解耦伺服控制平台，其特征在于，所述运动平台大体形成为矩形，所述运动平台的第一侧边上形成有沿所述第二水平方向延伸的第一滑轨，所述第二侧边上形成有沿所述第一水平方向延伸的第二滑轨， 所述第一侧边与所述第一电机动子之间设有与所述第一滑轨适配的第一滑块，所述第一滑轨可滑动地安装在所述第一滑块内以使所述运动平台在所述第二水平方向运动； 所述第二侧边与所述第二电机动子之间设有与所述第二滑轨适配的第二滑块，所述第二滑轨可滑动地安装在所述第二滑块内以使所述运动平台在所述第一水平方向运动。3.根据权利要求2所述的并联运动解耦伺服控制平台，其特征在于，所述第一直线电机上形成有沿所述第一水平方向延伸的第一导轨，所述第二直线电机上形成有沿所述第二水平方向延伸的第二导轨且所述第一和第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张震，王鹏，闫鹏，刘鹏博，叶佩青，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：