径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置制造方法及图纸

径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置属于光学显微镜测量领域；该共焦成像装置激光器发出的激光束依次经过准直扩束器，起偏器，径向偏振光转换器，分光镜后，由大数值孔径物镜会聚到椭球反射镜表面，再经过椭球反射镜和样品的两次反射后沿对称路径返回，再次经过分光镜时被反射，反射光束先经耦合透镜会聚，再经光纤传输到光电倍增管上成像；所述大数值孔径物镜的焦点和椭球反射镜的远焦点F1重合，椭球反射镜的近焦点F2位于样品的表面上；所述的椭球反射镜为环带结构，相隔的两个环带反射率相同，相邻的两个环带反射率分别为0和1；使用本发明专利技术，可以提高横向分辨率以及提高焦点处轴向电场能流密度最大值和径向电场能流密度最大值之比。

【技术实现步骤摘要】

径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置属于光学显微镜测量领域；主要涉及一种用于微结构工业样品中三维细微结构表面形貌测量的超精密非接触测量装置。
技术介绍
共焦点扫描测量是微光学、微机械、微电子领域中测量三维精细结构、微台阶、微沟漕线宽、深度及表面形状的主要技术手段之一。包括差动共焦曲率半径测量方法与装置(公开号CN101526341)、共焦显微镜及用其测量高度的方法(公开号CN1392962)、复色超分辨差动共焦测量方法与装置(公开号CN101182992)等采用传统透镜照明和探测结构的共焦点扫描测量系统，其横向分辨率与物镜的数值孔径大小密切相关，数值孔径越大，分辨率越高。对于这类采用传统透镜照明和探测结构的共焦点扫描测量系统，透镜组构成的物镜的会聚角理论极限为90°，然而苛刻的加工工艺和复杂的镜组结构使得实际商用干式物镜的最大会聚角被限制在72° (对应数值孔径为0.95，折射率为I时)，所以采用传统透镜照明和探测结构的共焦扫描系统很难通过增大数值孔径来提高分辨率。此外，已知使用径向偏振光照明，可以在焦点附近获得轴偏振光。王海凤等人于 2008 年在《Nature Phot本文档来自技高网...

【技术保护点】
径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，包括激光器（1），准直扩束器（2），起偏器（3），径向偏振光转换器（4），分光镜（5），大数值孔径物镜（6），椭球反射镜（7），样品（8），三维载物台（9），耦合透镜（10），光纤（11），光电倍增管（12）；激光器（1）发出的激光束依次经过准直扩束器（2），起偏器（3），径向偏振光转换器（4），分光镜（5）后，由大数值孔径物镜（6）会聚到椭球反射镜（7）表面，再经过椭球反射镜（7）和样品（8）的两次反射后沿对称路径返回，再次经过分光镜（5）时被反射，反射光束先经耦合透镜（10）会聚，再经光纤（11）传输到光电倍增管（12）上成像；其中，样品（8）...

【技术特征摘要】
1.径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置，包括激光器(1)，准直扩束器(2),起偏器(3),径向偏振光转换器(4),分光镜(5),大数值孔径物镜(6),椭球反射镜(7),样品(8 )，三维载物台(9 )，耦合透镜(10 )，光纤(11)，光电倍增管(12);激光器(I)发出的激光束依次经过准直扩束器(2 )，起偏器(3 )，径向偏振光转换器(4 )，分光镜(5 )后，由大数值孔径物镜(6)会聚到椭球反射镜(7)表面，再经过椭球反射镜(7)和样品(8)的两次反射后沿对称路径返回，再次经过分光镜(5)时被反射，反射光束先经耦合透镜(10)会聚，再经光纤(11)传输到光电倍增管(12)上成像；其中，样品(8)固定放置在三维载物台(9)上；大数值孔径物镜(6)的焦点和椭球反射镜(7)的远焦点F1重合,椭球反射镜(7)的近焦点F2位于样品(8)的表面上；其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俭，谭久彬，张云龙，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，中国兵器工业第二〇五研究所，
类型：发明
国别省市：