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径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置属于光学显微镜测量领域；该共焦成像装置激光器发出的激光束依次经过准直扩束器，起偏器，径向偏振光转换器，分光镜后，由大数值孔径物镜会聚到椭球反射镜表面，再经过椭球反射镜和样品的两次反射后沿对称路径返...该专利属于哈尔滨工业大学;中国兵器工业第二〇五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学;中国兵器工业第二〇五研究所授权不得商用。