【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测领域，特别是一种利用移相干涉仪对。
技术介绍
激光打孔技术广泛应用于航空航天领域，用来实现小孔径冷却洞的钻孔过程，而环形激光束为激光打孔技术提供了一个新的途径。同时，环形激光束也应用于光学捕获和诱导，激光加工等方面。这就为环形激光束的实现提出了要求，而高反射率凹面锥形反射镜经常被用来产生环形照明光束，这种凹面锥形反射镜为实现不同径向宽度的环形光束提供了很大的方便，所以精确测量这种高反射率凹面锥形反射镜的面形是很有必要的。公知技术[I]利用接触式Taylor Hobson表面轮廓测量仪来测量凹面锥形反射镜的表面粗糙度。它是一种接触式的测量方法，会对测量件造成损伤，从而影响测量结果。公知技术[2]利用零位光学元件-CGH实现对凹面锥形反射镜的测量。此方法首先需要制作一个补偿件CGH，其次，在测量中需要对CGH和被测件进行严格的对准才能实现比较准确的测量
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种。该方法具有操作简单，易于测量，对测量件无损伤等优点。本专利技术的技术解决方案如下:—种，特点在于该方法包括以下步骤:①制作一个部分透光平板:在部分透光平板前表面的下半部分涂上黑漆，使得入射到其上的光束被吸收；在部分透光平板后表面的下半部分镀反射膜；②在移相干涉仪输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板和待测高反射率凹面锥形反射镜，所述的待测高反射率凹面锥形反射镜的锥面朝向移相干涉仪的出光方向；③调整光路:调整所述的部分透光平板的前平面与所述的平行光束垂直，且保证所述部分透光平板的中轴与所述的移相干涉仪出射光束的中轴重合；调整所述的高反射率凹面...
【技术保护点】
一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法，特征在于该方法包括以下步骤：①制作一个部分透光平板（2）：在部分透光平板（2）前表面的下半部分涂上黑漆，使得入射到其上的光束被吸收；在部分透光平板（2）后表面的下半部分镀反射膜；②在移相干涉仪（1）输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板（2）和待测高反射率凹面锥形反射镜（3），所述的待测高反射率凹面锥形反射镜（3）的锥面朝向移相干涉仪（1）的出光方向；③调整光路：调整所述的部分透光平板（2）的前平面与所述的平行光束垂直，且保证所述部分透光平板（2）的中轴与所述的移相干涉仪（1）出射光束的中轴重合；调整所述的高反射率凹面锥形反射镜（3），使所述的高反射率凹面锥形反射镜（3）的中轴与所述的移相干涉仪（1）出射光束的中轴重合，所述的部分透光平板（2）与待测高反射率凹面锥形反射镜（3）之间的距离应满足以下关系：L≥d1+d2=Φ2ctan(2θ)+Φ2tanθ=Φ(1+tan2θ)4tanθ其中，Φ为入射到待测高反射率凹面锥形反射镜（3）上的光束口径...
【技术特征摘要】
1.一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法，特征在于该方法包括以下步骤: ①制作一个部分透光平板(2):在部分透光平板(2)前表面的下半部分涂上黑漆，使得入射到其上的光束被吸收；在部分透光平板(2)后表面的下半部分镀反射膜； ②在移相干涉仪(I)输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板(2)和待测高反射率凹面锥形反射镜(3)，所述的待测高反射率凹面锥形反射镜(3)的锥面朝向移...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁乔，曾爱军，张善华，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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