下载高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法的技术资料

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一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法,包括以下步骤:制作部分透光平板;在移相干涉仪输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板和待测高反射率凹面锥形反射镜,所述的待测高反射率凹面锥形反射镜的锥面朝向移相干涉仪的出光方向;调整光路;利用移...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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