【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种将流体进行分流的装置，特别是涉及一种能够将高粘度、高密度的流体砂浆进行分流的多线锯切割机的砂浆分流阀。
技术介绍
多线锯切割机是通过其高速运动的切割钢线沾黏上砂浆后，将半导体晶棒或晶锭切割加工成晶片的设备。它具有加工效率和成品率高的特点，所以得到广泛使用。但是，随着材料价格的提高以及半导体晶棒或晶锭尺寸的增大，为降低加工成本，减少经济损失，对加工成品率的要求则越来越高。大直径晶棒加工过程中，晶片的翘曲度要求很高。现有技术中，大直径的多线锯切割机均分别设有由两条管道构成的两个砂浆喷淋口，高速运动的切割钢线往返循环一次仅仅通过其中一个砂浆喷淋口粘黏附着砂浆，对晶棒进行切割。切割过程中，虽然一个砂浆泵同时对两个砂浆喷淋口输送砂浆，但是同时喷出有砂浆的两个砂浆喷淋口总是交替的参与工作，当一条管道砂浆参与切割时，另一管道的砂浆则白白喷出不参与工作。当钢线反向运行切割时，以前没有起作用的喷淋砂浆再起切割作用，而另一个喷淋口喷出的砂浆则白白流淌退出工作。由于一个砂浆泵同时分配给两个不同工作位置的喷淋口的砂浆流量实质上是不可能相等的，因而造成钢线粘黏附着的砂浆...
【技术保护点】
一种多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于：所述砂浆分流阀包括有一个腔体（1），所述腔体（1）上部通过螺钉（4）连接一个中心具有砂浆入口（3）的上盖（2），所述上盖（2）与所述腔体（1）之间形成有砂浆分配腔，所述腔体（1）的砂浆分配腔处环形向外均布设有至少两个砂浆出口（9、24），所述腔体（1）中心设有一个轴孔，所述轴孔上面设有环形槽，环形槽内安装带有凸凹结构的密封垫（7），所述轴孔下面设有轴承安装孔，轴承安装孔内通过螺钉（22）、压盖（23）固定有大轴承（8），所述腔体（1）的轴孔以及大轴承（8）的内孔上置有一个转轴（6），所述转轴（6）处在所述密封垫（7）上面的部分为一个...
【技术特征摘要】
1.一种多线锯切割机的砂浆分流阀，其特征在于:所述砂浆分流阀包括有一个腔体(1)，所述腔体(I)上部通过螺钉(4)连接一个中心具有砂浆入口(3)的上盖(2)，所述上盖(2)与所述腔体(I)之间形成有砂浆分配腔，所述腔体(I)的砂浆分配腔处环形向外均布设有至少两个砂浆出口(9、24)，所述腔体(I)中心设有一个轴孔，所述轴孔上面设有环形槽，环形槽内安装带有凸凹结构的密封垫(7)，所述轴孔下面设有轴承安装孔，轴承安装孔内通过螺钉(22)、压盖(23)固定有大轴承(8)，所述腔体(I)的轴孔以及大轴承(8)的内孔上置有一个转轴(6)，所述转轴(6)处在所述密封垫(7)上面的部分为一个大偏心体，所述转轴(6)的下部通过键(18)连接一个蜗轮(19)，所述转轴(6)的底端通过转轴螺钉(16)以及压垫(15)固定一个小轴承(14)，所述蜗轮(19)通过小轴承(14)及垫圈(13)固定在所述转轴(6)上，所述蜗轮(19)与所述大轴承(8)的压盖(23)之间的所述转轴(6)上套接有一个张力弹簧(20)，所述蜗轮(19)的轮齿啮合一个蜗杆(12)，所述腔体(I)的下部通过螺钉(10、21)固定有固定座(17)，所述蜗轮(19)处在所述固定座(17)的内部中心，所述固定座(17)的底部设有一个中心凹槽，所述转轴(6)上的小轴承(14)固定在所述中心凹槽中， 所述蜗杆(12)通过限位垫...
【专利技术属性】
技术研发人员：种宝春，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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