一种带反馈控制的激光刻蚀机制造技术

一种带反馈控制的激光刻蚀机，它由激光器系统（１）、扩束镜组（２）、Ｘ－Ｙ振镜头（３）、透镜（４）、计算机控制系统（５）组成，其特征在于，在激光器系统（１）中采用风冷式全固态激光器；在Ｘ振镜头和Ｙ振镜头的伺服电机（６）和（８）的轴上分别置有角位移传感器（１０、１１），由角位移传感器测得振镜头偏转的实际角位移和计算机设定的角位移相比较后再控制Ｘ－Ｙ振镜头的扫描，以达到刻蚀位置精确控制。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种可用于亚表面刻蚀的激光刻蚀机，特别涉及一种由计算机控制并且有反馈的振镜式激光刻蚀机。
技术介绍
激光打标是一种非常重要的激光加工技术，通过激光打标所形成的标记具有永久性的特点。对金属和非金属不同形状物体实现在线式打标。已有的激光打标方式有好几种，如专利ZL92200956.2中公开的一种激光打标机。该机采用一次反射镜在X-Y伺服扫描机构的带动下运动，激光束在物体表面扫描形成点阵式标志。专利ZL9021268.3中公开了一种激光蚀刻机，它在物体表面覆盖了具有特定图形的遮光掩膜。激光束通过它的通光部分对物体表面进行蚀刻加工。专利ZL96110257.8中公开了一种激光防伪打标机.该机在前两种专利技术基础上将扫描式和掩膜式结合于一体的打标机.专利ZL02228748.5中公开了一种高速激光打标机，由计算机控制的两维伺服电机带动两个反射镜转动，使进入振镜头的激光束经过两次反射，通过透镜，形成光斑在物体表面内作两维高速移动。上述的激光刻蚀机是使激光打在金属零件、塑料制品的表面上，刻蚀产品的名称、批号、商标、条形码等，而对于需在ID(身份证)卡上刻绘人像、指纹、持卡人身份信息，如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王又良，陈益民，张伟，郁德明，
申请(专利权)人：上海市激光技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：