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一种带反馈控制的激光刻蚀机，它由激光器系统（１）、扩束镜组（２）、Ｘ－Ｙ振镜头（３）、透镜（４）、计算机控制系统（５）组成，其特征在于，在激光器系统（１）中采用风冷式全固态激光器；在Ｘ振镜头和Ｙ振镜头的伺服电机（６）和（８）的轴上分别置有角...
该专利属于上海市激光技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海市激光技术研究所授权不得商用。

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