【技术实现步骤摘要】
本技术是一种可自动多点采样的分析装置，尤指可以单一机台即可自动量测监控无尘室内多处地点的有害气体，进而可达到大幅节省量测时间、人力与成本的功效。
技术介绍
一般半导体或面板产业的无尘室(clean room),通常必须针对空气中含有的酸喊气或有机类等AMC (Airborne Molecular Contamination,气体分子污染物)或VOC(Volatile Organic Compound,挥发性有机化合物)的浓度加以量测并监控，以避免这些有害气体影响到产品的良率或精密昂贵的机器设备，目前对于无尘室环境中AMC或VOC的量测监控，请参阅图1所示，通常是由操作者携带人工采样装置11进入所述无尘室内采集空气样本，所述人工采样装置11通常是吸附管或采气袋或不锈钢桶，其可将待测量的空气样本经由所述人工采样装置11收集或吸附，此时所述操作者即可将所述空气样本携带至无尘室外的实验室中，利用热脱附装置12 (Thermal Desorption, TD)与分析仪13进行量测分析，其中所述热脱附装置12是利用高温让化学物质气化的原理，而可将挥发性或半挥发性化合物(也即...
【技术保护点】
一种可自动多点采样的分析装置，其特征在于，其包含:一仪器本体，所述仪器本体内设有容置空间，所述仪器本体上设有一输出入装置，所述仪器本体其容置空间内设有一控制单元，所述控制单元与所述输出入装置电性连接；一多点取样装置，所述多点取样装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述多点取样装置与所述控制单元电性连接，所述多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接；一热脱附装置，所述热脱附装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述热脱附装置与控制单元电性连接，所述热脱附装置与多点取样装置的取样选择阀相连接；一分析装置，所述分析装置设置于所述仪器...
【技术特征摘要】
1.一种可自动多点采样的分析装置，其特征在于，其包含 一仪器本体，所述仪器本体内设有容置空间，所述仪器本体上设有一输出入装置，所述仪器本体其容置空间内设有一控制单元，所述控制单元与所述输出入装置电性连接； 一多点取样装置，所述多点取样装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述多点取样装置与所述控制单元电性连接，所述多点取样装置包含有至少两个取样管与一取样选择阀，各所述取样管一端与所述取样选择阀相连接； 一热脱附装置，所述热脱附装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述热脱附装置与控制单元电性连接，所述热脱附装置与多点取样装置的取样选择阀相连接； 一分析装置，所述分析装置设置于所述仪器本体其容置空间内，且所述分析装置与所述控制单元电性连接，所述分析装置与所述热脱附装置相连接。2.根据权利要求1所述的可自动多点采样的分析装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑智文，郑嘉葳，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。