一种晶粒分块扫描方法技术

本发明专利技术公开了一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置;在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；跳转新条状块扫描到上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描。该发明专利技术通过将晶片分块，使质量相近晶粒被一同拾取，晶粒拾取比较干净，对空行和空列有较强适应性，不连通的晶粒区域也能扫描到，克服了传统的逐行扫描方式的质量不均和不能跳过空行空列的缺点。

【技术实现步骤摘要】
一种晶粒分块扫描方法
本专利技术涉及晶粒扫描
，尤其涉及一种晶粒分块扫描方法。
技术介绍
在电子工业专用设备中，需要对蓝膜上的晶粒进行扫描以获得晶粒的位置，然后进行拾取。由于加工工艺的原因，蓝膜上邻近晶粒的亮度是相似的，距离远的晶粒的亮度差距较大。目前，公知的扫描方法是对蓝膜上的晶粒进行逐行扫描，逐行扫描是将一行晶粒逐个拾取，使距离较远的晶粒放置在一起工作，导致最终的产品亮度不均，质量不好。另外，当存在空行或有空过去的晶粒时，逐行扫描方法达到连续无晶粒时会出现扫描停止，只能移到有晶粒的地方重新扫描，影响了设备效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足而提供一种晶粒分块扫描方法，可以扫描临近块的晶粒，保证最终产品亮度均匀，并且能够有效的处理空行和空列的情况。为实现上述的目的，本专利技术所采用的技术方案如下：一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置;3）在一个条状块扫描完本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶粒分块扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置;3）在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；4）跳转到新条状块发现上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描。

【技术特征摘要】
1.一种晶粒分块扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；2）从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内垂直于划分线逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行同侧最后一个晶粒位置，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒位置，当扫描到条状快顶部或者底部最后一个晶粒时，返回到扫描起始位置的下一行或上一行继续扫描；3）在一个条状块扫描完成后，从该块最后一个晶粒位置切换到下一条状块扫描；4）跳转到新条状块发现上一条状块内无晶粒时，结束扫描，否则继续扫描；步骤2）中，通过晶粒间距计算下一晶粒的位置，在一条状块内逐行扫描时，还包括以下步骤：判断该下一晶粒位置是否超出所述蓝膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建利，周庆亚，侯为萍，孟宪俊，周冉，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：