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本发明公开了一种晶粒分块扫描方法，包括以下步骤：将蓝膜晶片按预定间距划分为数个条状块；从指定的扫描起始点起，通过晶粒间距计算下一晶粒位置，在一条状块内逐行扫描；扫描完一行后，从该行最后一个晶粒位置换行至下一行，更换扫描行进方向扫描下一行晶粒...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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