无限远像距显微物镜光学系统技术方案

技术编号:8593282 阅读:396 留言:0更新日期:2013-04-18 06:20
无限远像距显微物镜光学系统,属于显微物镜设计领域。为了克服普通共焦显微技术光路设计的不足,本发明专利技术的无限远像距显微物镜光学系统包括沿同一光轴从平行光源到物面依次排列的光阑(1)、前弯月型透镜(2)、双胶合透镜(3)、双胶合透镜(4)、后弯月型透镜(5)和平凸透镜(6);所述前弯月型透镜(2)和后弯月型透镜(5)的弯向都背对光阑(1),第一双胶合透镜(3)和第二双胶合透镜(4)的胶合面弯向光阑(1),平凸透镜(6)的凸向朝向光阑(1);设显微物镜系统的焦距为,数值孔径为,入瞳直径为,系统放大率为,则,,。本发明专利技术无限远像距显微物镜光学系统结构灵活简单,放大倍率比较高,聚焦性好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于显微物镜设计领域,涉及一种像距无限远、单色、中倍显微物镜系统,应用于共焦显微技术测量面型领域。
技术介绍
近年来,随着科学技术和信息技术的不断发展,面型测量技术也向着简单易行、高精度的方向发展。传统的接触式方法已经不能满足这些特定场合的应用,采用非接触光学方法测量面型已经成为研究的重点方向。尤其国内外学者对共焦显微技术测量面型进行广泛的研究和讨论。共焦显微技术是于1957年由M. Minsky首次提出,随后在T. Wilson、C. J. R. shepperd等人的努力之下,共焦显微技术基础理论得到进一步的完善,在国内外的学者不断努力之下,将共焦显微技术应用到生物医学、电子技术学,材料学,测量等领域。共焦显微技术基本的原理是光通过照明物镜形成发散的光束入射到半透半反射镜,经过其反射到显微物镜上聚集于物体表面,反射回来的光束再次透过显微物镜,半透半反射镜,探测针孔到达探测器焦平面上。其中,上面所述的光源位置,探测针孔位置,显微物镜的焦点位置两两互为共轭关系,它们的位置受共轭关系限制。国内外学者之前所研究的共焦显微技术基本上都属于有限远距共焦显微技术领域。但是,随着技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无限远像距显微物镜光学系统,其特征在于所述无限远像距显微物镜光学系统包括沿同一光轴依次排列的光阑(1)、前弯月型透镜(2)、双胶合透镜(3)、双胶合透镜(4)、后弯月型透镜(5)、平凸透镜(6)和被测物体(7);其中:设显微物镜系统的焦距为???????????????????????????????????????????????,数值孔径为,入瞳直径为,系统放大率为,则,,,且。2013100103380100001dest_path_image002.jpg,2013100103380100001dest_path_image004.jpg,2013100103380100001de...

【技术特征摘要】
1.ー种无限远像距显微物镜光学系统,其特征在于所述无限远像距显微物镜光学系统包括沿同一光轴依次排列的光阑(I)、前弯月型透镜(2)、双胶合透镜(3)、双胶合透镜(4)、后弯月型透镜(5)、平凸透镜(6)和被测物体(7);其中设显微物镜系统的焦距为尸,数值孔径为AM,入瞳直径为Il,系统放大率为P,则8S2X10 , 0.4 < MJ < Ji , 6</f<8,卜250^,2.根据权利要求1所述的无限远像距显微物镜光学系统,其特征在于所述光阑(I)位于前弯月型透镜(2)第一表面(2-1)处。3.根据权利要求1所述的无限远像距显微物镜光学系统,其特征在于所述光阑(I)ロ径的值等于无限远像距显微物镜系统的入瞳直径U。4.根据权利要求1、2或3所述的无限远像距显微物镜光学系统,其特征在于所述前弯月型透镜(2)、第一双胶合透镜(3)、第二双胶合透镜(4)、后弯月型透镜(5)、平凸透镜(6)的材料分别为环保型重钡火石玻璃、环保型氟冕玻璃、环保型重火石玻璃、环保型重冕玻璃、重火石玻璃、环保型轻冕玻璃、环保型重冕玻璃。...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈刚义丛海佳孙永雪张爱红张旺刘建军范志刚
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学
类型:发明
国别省市:

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