无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪及测试精度调节方法技术

本发明专利技术公开一种无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，包括：提供照明均匀光的光源；成像装置包括用于成像的无限远共轭距显微物镜和管透镜、位于无限远共轭距显微物镜前焦面上用于为无限远共轭距显微物镜提供黑斑的黑体目标板；三目观察装置，包括可上下移动的半五角棱镜，用于观察保证测量时黑斑位置放置正确；滤光装置，成像装置出射的光通过滤光装置过滤后输出可见光波段；第一光阑，其接收可见光波段并选择可见光波段中黑斑的特定黑斑像区域的光用于测量；测试积分球，其对接收的第一光阑选择的测量光进行均光和衰减；光电倍增管，其用于测量经测试积分球均光和衰减的光的能量；本发明专利技术具有杂散光源减少、测量精度高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学测试领域，更具体地说，本专利技术涉及一种无限远共辄距显微物镜 杂散光测试仪及测试精度调节方法。
技术介绍
目前，测量光学系统的杂散光的方法主要有两种，一种为黑斑法（也称为面源 法），另一种为点源法。由于点源法采用的是点扫的方式，光线在进入光学系统前，必须对光 线进行准直，因此对于中心视场，它很难测量由透镜边缘、镜框和镜筒反射及散射所产生的 杂光，同时，对于小口径、大视场角的显微物镜，平行光照明与真实照明情况差别很大，测量 结果难以反映显微物镜内部杂散光的真实情况，因此对于显微物镜的杂散光测试一般采用 黑斑法。 黑斑法的原理是测量张角近似为π的亮背景所产生的轴上点附近区域内杂散光 的积分值。其杂光系数（VGI)定义为：在均匀亮度的扩展视场中放置一个黑斑，经被测样品 成像后，其像中心区域上的光照度与移去黑斑放上白斑后在像面上同一处的光照度之比。 VGI用百分比表示。m 。式中，Ib为黑斑的光照度，〗w为移去黑斑后的光照度。 'w 影响黑斑测量精度的主要因数有：物镜视场照明均匀性，照明数值孔径匹配，黑 体目标板黑白对比度，除被测件外杂散光源数量，物镜调焦精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，其特征在于，依次包括：光源，用于提供照明均匀的光；成像装置，用于接收所述光源发射的光并成像；所述成像装置包括组合用于成像的无限远共轭距显微物镜和管透镜、位于所述无限远共轭距显微物镜前焦面上并用于为所述无限远共轭距显微物镜提供黑斑的黑体目标板；三目观察装置，用于观察保证测量时黑斑的位置放置正确；滤光装置，所述成像装置出射的光通过所述滤光装置过滤后输出可见光波段；第一光阑，其接收所述可见光波段并选择所述可见光波段中所述黑斑的特定黑斑像区域的光用于测量；测试积分球，其对接收的所述第一光阑选择的测量光进行均光和衰减；以及，光电倍增管，其用于测量经所述测试积分球均光...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖家胜，巩岩，骆聪，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：发明
国别省市：江苏;32