显微镜物镜制造技术

本发明专利技术提供一种显微镜物镜，能够使轴上和轴外的色像差被充分地修正，并且动作距离长。显微镜物镜(OL)从物体侧起依次具有：具有正折射力的第一透镜组(G1)；和具有负折射力的第二透镜组(G2)。另外，该显微镜物镜(OL)的第一透镜组(G1)具有衍射光学元件(GD)，该衍射光学元件(GD)具有衍射光学面(D)，该衍射光学元件(GD)与通过第一透镜组(G1)的光束的直径最大部分相比配置在像侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显微镜物镜
本专利技术涉及显微镜物镜。
技术介绍
在显微镜观察中，为了容易处理试样，期望显微镜物镜具有尽可能长的动作距离。但是，为了确保长动作距离，就不得不将配置在物体侧的透镜组的焦距取得长，进而若考虑该透镜组的焦距则透镜能够配置的空间有限，难以进行各像差的修正，尤其是难以进行高阶球面像差及色像差的修正。因此，提出有使用了衍射光学元件(DOE)的透镜系统(例如，参照专利文献1)。由于使用了衍射光学元件，因此，能够高度地修正色像差，能够将基于透镜进行的修正集中于球面像差的修正。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平6-331898号公报
技术实现思路
然而，在这样的使用了衍射光学元件的透镜系统中，需要使轴上和轴外的色像差平衡，因此在衍射光学元件的配置上必需花费功夫。本专利技术是鉴于这样的课题而研发的，其目的在于提供一种轴上和轴外的色像差被充分修正且动作距离长的显微镜物镜。为了解决上述课题，本专利技术的第1技术方案的显微镜物镜的特征在于，从物体侧起依次具有：具有正折射力的第一透镜组；和具有负折射力的第二透镜组，第一透镜组具有衍射光学元件，该衍射光学元件具有衍射光学面，衍射光学元件与通过第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.16 JP 2010-136728;2010.06.16 JP 2010-136721.一种显微镜物镜，其特征在于，从物体侧起依次具有：具有正折射力的第一透镜组；和具有负折射力的第二透镜组，所述第一透镜组具有衍射光学元件，该衍射光学元件具有衍射光学面，所述衍射光学元件与通过所述第一透镜组的光束的直径最大位置相比配置在像侧，所述第一透镜组具有在最靠近物体侧配置的具有正折射力的透镜成分，当使通过所述第一透镜组的光束的最大直径为Φmax、通过所述衍射光学面的光束的最大直径为ΦDOE、所述第二透镜组的焦距为f2、整个系统的焦距为f、从物体到所述第一透镜组的最靠近物体侧的透镜面的顶点为止的光轴上的距离为d0、从物体到最靠近像侧的透镜面的顶点为止的光轴上的距离为L、所述第一透镜组的最靠近物体侧的所述透镜成分的焦距为f11时，满足下式的条件：ΦDOE/Φmax＜0.760.65＜(－f2)/f＜2.00.1＜d0/L＜0.61.2＜f11/f＜19.0。2.如权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，当使所述第一透镜组的焦距为f1时，满足下式的条件：0.5≤f1/f≤3.5。3.如权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第二透镜组的最靠近像侧的透镜面被配置成凹面朝向像侧。4.如权利要求3所述的显微镜物镜，其特征在于，主光线和光轴的相交位置与所述第二透镜组的所述最靠近像侧的透镜面相比位于物体侧。5.如权利要求1所述的显...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡士妙子，高砂和浩，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：