压阻式Z轴加速度感测器制造技术

本发明专利技术公开一种压阻式Z轴加速度感测器，其包括：一基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及一质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及动态感测装置(motion sensors),且特别是涉及一种Z轴加速度感测器(Z-axis accelerometer)。
技术介绍
加速度感测器(accelerometer)已广泛地应用于如惯性导航系统、汽车安全与飞弹控制等相关应用，而Z轴加速度感测器则可用于控制侧向安全气囊、运载工具控制与多轴感测系统。通常，Z轴加速度感测器可采用块状微机械加工技术而制成。依据操作原理的不同，目前已发展出了如压阻式(piezoresistive type)、压电式(piezoelectric type)、电容式(capacitive type)、热感应式(thermal type)与穿隧电流式(tunneling current type)等多种不同类型的Z轴加速度感测器。本专利技术的目的在于提供一种压阻式Z轴加速度感测器，可提升其的可靠度。为达上述目的，依据一实施例，本专利技术提供了一种压阻式Z轴加速度感测器，包
技术实现思路
括一基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及一质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压阻式Z轴加速度感测器，包括：基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。

【技术特征摘要】
2011.10.12 TW 1001368861.一种压阻式Z轴加速度感测器，包括 基板； 多个支撑梁，设置于该基板上； 多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及 质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。2.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，该些支撑梁与该些悬臂梁包括一组对称结构的支撑梁及一组对称结构的悬臂梁。3.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，该些支撑梁与该些悬臂梁包括两组对称结构的支撑梁及两组对称结构的悬臂梁。4.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，该些支撑梁与该些悬臂梁包括一组非对称结构的支撑梁及一组非对称结构的悬臂梁。5.如权利要求1所述的压阻式Z轴加速度感测器，还包括支撑框，形成于该基板之上并环绕该些悬臂梁、该些压电材与该质量块，而该些支撑梁则整合于该支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志伟，张介斌，陈家豪，赵传珍，庄英宗，王是琦，王永和，
申请(专利权)人：立积电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：