一种激光扫描共聚焦显微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种激光扫描共聚焦显微镜，在激光扫描共聚焦显微镜的载物台加入加热装置；在激光扫描共聚焦显微镜的物镜和样平台之间加入测温装置和红外检测器；在激光扫描共聚焦显微镜的计算机系统加入热图像处理软件。本发明专利技术所涉及的新型检测表征技术：（1）可以研究材料微观形貌。（2）运用杂质或掺杂相的激发荧光直观观察其大范围内的分布情况。（3）捕捉荧光，动态跟踪。（4）经系统经多次调焦，获得不同深度的图像，经计算机处理可对样品进行三维成像。（5）可同时动态研究各种材料在温度改变时的传热传质过程，由此可建立材料相变的热力学与动力学机制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种新型的材料样品的分析表征装置，具体涉及一种激光扫描共聚焦显微镜，属材料表征

技术介绍
当前材料样品表面或界面微观形貌表征的主要手段有扫描电子显微镜(SEM)，原子力显微镜(AFM)，透射电子显微镜(TEM)等SEM无法测试含水样品，对于一些微小(粒径〈lnm)杂质或掺杂相必须要提高倍率，放大倍数的提高造成视场的减小，故无法在较大的区域(约ImmX Imm)内直观观察微小杂质或掺杂相的分布情况；AFM难易判断出杂相；TEM对样品的要求很高，制样困难，而且与SEM—样，无法在较大的区域内直观观察微小杂质或掺杂相的分布情况。当前材料样品成分的无损测试手段有X射线衍射(XRD)，扫描电子显微镜中加入的能谱仪(EDS)或波谱仪(WDS)等XRD对于微区特定相或者含量较小的相无能为力；EDS或WDS只能获得元素相对含量，无法判断相类型(如只能知道Ti与O之比为1: 2，但是金红石还是锐钛矿却无法判断)，且对于空洞内部的成分也无能为力。所以当前还没有一种材料样品表征手段可以同时弥补上述表征技术的缺陷，而要想运用现有材料领域测试手段同时动态研究各种材料在温度改变时的传热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光扫描共聚焦显微镜，其特征在于，激光扫描共聚焦显微镜的载物台设有加热装置；所述激光扫描共聚焦显微镜的物镜与载物台之间设置测温装置和红外检测器；所述激光扫描共聚焦显微镜的计算机系统中设有热图像处理软件，所述红外检测器与计算机系统连接。

【技术特征摘要】
1.一种激光扫描共聚焦显微镜，其特征在于，激光扫描共聚焦显微镜的载物台设有加热装置；所述激光扫描共聚焦显微镜的物镜与载物台之间设置测温装置和红外检测器；所述激光扫描共聚焦...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐东，程晓农，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：