可调滤波器以及非色散气体探测器制造技术

本发明专利技术提供了一种可调滤波器以及非色散气体探测器，所述可调滤波器包括相对设置的基底和盖板，所述基底的表面上设置一固定反射镜，一可动反射镜通过多个锚点设置于固定反射镜表面且与固定反射镜平行，所述可动反射镜能够向基底方向和盖板方向两个方向移动；所述固定反射镜和可动反射镜对工作波段的光的反射率大于其余波段，所述基底和盖板对工作波段的光的透射率大于其余波段；所述基底和可动反射镜之间设置有第一限位部件，所述可动反射镜和盖板之间设置有第二限位部件。本发明专利技术的优点在于，通过限位部件控制滤波器精确输出一特征吸收波长的光线和一参考波长的光线，通过对两次检测结果的比对，有效降低干扰、提高非色散气体探测器的检测精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子机械系统(MEMS)领域,涉及一种基于法布里-拍罗腔以及MEMS技术的可调滤波器以及非色散气体探测器。
技术介绍
以非色散红外气体传感器(NDIR)为代表的以探测气体吸收光辐射为基本原理的气体探测器，是利用待测气体在特征吸收谱线对辐射的吸收，从而检测出气体的种类、浓度等信息的一类传感器。非色散红外气体传感器具有灵敏度高、选择性好、响应速度快等优点，越来越广泛地应用到各个工农业领域。以红外光作为探测光线为例，非色散红外气体传感器的基本构成包括红外辐射源、窄带滤波片、气室、以及用于接收和检测红外辐射的红外探测器。工作时，由红外辐射源发射的广谱红外辐射，通过窄带滤波片后形成与待测气体的特征吸收谱线相对应的特定波长的红外辐射。上述红外辐射通过充满待测气体的气室，由于其波长与待测气体的特征吸收峰吻合而被待测气体吸收从而导致红外辐射强度衰减。根据朗伯-比尔定律，红外辐射被吸收衰减的程度与待测气体种类、浓度等相关，通过与未经衰减的辐射强度对比即可得到待测气体的相关信息。在实际使用中，由于红外辐射源和红外探测器的性能随着使用时间以及受环境温度变化等因素的影响会产生漂移，从而影响本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可调滤波器，包括相对设置的基底和盖板，其特征在于：所述基底的表面上设置一固定反射镜，一可动反射镜通过多个锚点设置于固定反射镜表面且与固定反射镜平行，所述可动反射镜能够向基底方向和盖板方向两个方向移动；所述固定反射镜和可动反射镜对工作波段的光的反射率大于其余波段，所述基底和盖板对工作波段的光的透射率大于其余波段；所述固定反射镜和可动反射镜之间设置有第一限位部件，所述可动反射镜和盖板之间设置有第二限位部件。

【技术特征摘要】
1.一种可调滤波器，包括相对设置的基底和盖板，其特征在于 所述基底的表面上设置一固定反射镜，一可动反射镜通过多个锚点设置于固定反射镜表面且与固定反射镜平行，所述可动反射镜能够向基底方向和盖板方向两个方向移动； 所述固定反射镜和可动反射镜对工作波段的光的反射率大于其余波段，所述基底和盖板对工作波段的光的透射率大于其余波段； 所述固定反射镜和可动反射镜之间设置有第一限位部件，所述可动反射镜和盖板之间设置有第二限位部件。2.根据权利要求1所述的可调滤波器，其特征在于，所述第一限位部件设置在固定反射镜表面或者可动反射镜表面。3.根据权利要求1所述的可调滤波器，其特征在于，所述第二限位部件设置在可动反射镜表面或者盖板表面。4.根据权利要求1所述的可调滤波器，其特征在于，所述第一限位部件和第二限位部件的位置沿着垂直于可动反射镜的方向相互对准。5.根据权利要求1所述的可调滤波器，其特征在于，所述第一限位部件和/或第二限位部件为闭合形状。6.根据权利要求1所述的可调滤波器，其特征在于，所述固定反射镜和可动反射镜由具有不同折射系数的两种材料交替设置构成。7.根据权利要求6所述的可调滤波器，其特征在于，所述两种材料分别为多晶硅和二氧化硅。8.一种非色散气体探测器，包括辐射源、可调滤波器、气室、以及探测器，辐射源发射的广谱光辐射通过可调滤波器后变为窄带辐射，经过气室后若该波段的光处于待测气体的特征吸收波段则被吸收衰减，再被探测器接收并输出相应的电信号，其特征在于，所述可调滤波器为一权利要求1 7任意一项所述的可调滤波器，所述辐射源设置于可调滤波器的盖板上，辐射光通过所述可动反射镜以及固定反射镜形成的腔体滤波后，从基...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜利军，
申请(专利权)人：姜利军，
类型：发明
国别省市：